[发明专利]一种晶圆流片用切割装置在审
| 申请号: | 201811060250.9 | 申请日: | 2018-09-12 |
| 公开(公告)号: | CN108922859A | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
| 发明(设计)人: | 王昌华 | 申请(专利权)人: | 江苏英锐半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/304 |
| 代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 袁兴隆 |
| 地址: | 224002 江苏省盐城市经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 放置板 辅助件 固定件 流片 压板 切割机 切割装置 安置槽 输出端 两组 提手 种晶 工作台顶端 安全效果 附属装置 固定效果 增强材料 使用性 左滑块 工作台 粉屑 晶圆 切刀 底座 切割 遗留 清洁 生产 | ||
本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片用切割装置,其无需工作人员手按材料进行固定,提高安全效果;同时增强材料切割时的固定效果,提高使用可靠性;且方便后续对工作台上遗留的粉屑进行清洁,提高使用性;包括工作台、切割机和底座,切割机输出端上设置有切刀;还包括第一辅助件、第一调节件、第一压板、第二辅助件、第二调节件和第二压板,第一调节件设置在左滑块顶端,第二辅助件输出端与第二调节件连接;还包括第二固定件和三组第一固定件,第二固定件设置在第二压板上;还包括放置板和两组提手,工作台顶端设置有安置槽,放置板设置在安置槽内部,两组提手分别设置在放置板左右两端上。
技术领域
本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片用切割装置。
背景技术
众所周知,晶圆流片用切割装置是一种用于晶圆流片生产过程中,对其进行切割,以便后续进行加工的辅助装置,其在晶圆流片生产附属领域中得到广泛的使用;现有的晶圆流片用切割装置包括工作台、切割机和底座,工作台设置在底座顶端,切割机设置在工作台顶端右半区域上,并在切割机输出端上设置有切刀;现有的晶圆流片用切割装置使用时只需将材料放置在工作台上,并使其需要切割的区域位于切刀正下方,然后手按材料进行固定,同时控制切割机带动切刀向下移动,对材料进行切割即可;现有的晶圆流片用切割装置使用中发现,切割过程中工作人员手与切刀间的距离较近,导致其安全效果较差;并且其单纯依靠手按进行固定,固定效果有限,使用可靠性有限;且后续还需使用工具对工作台上遗留的粉屑进行清洁,较为麻烦,从而导致其使用性有限。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种可无需工作人员手按材料进行固定,提高安全效果;同时增强材料切割时的固定效果,提高使用可靠性;且方便后续对工作台上遗留的粉屑进行清洁,提高使用性的晶圆流片用切割装置。
本发明的一种晶圆流片用切割装置,包括工作台、切割机和底座,工作台设置在底座顶端,切割机设置在工作台顶端右半区域上,并在切割机输出端上设置有切刀;还包括第一辅助件、第一调节件、第一压板、第二辅助件、第二调节件和第二压板,所述底座顶端左前区域和左后区域上均设置有左滑槽,并在左滑槽内设置有左滑块,所述第一调节件设置在左滑块顶端,所述第一辅助件设置在底座上,且第一辅助件输出端与第一调节件连接,所述第一压板位于工作台上方,且切割机位于第一压板右侧,所述第一调节件与第一压板连接,底座顶端右前区域和右后区域上均设置有右滑槽,并在右滑槽内设置有右滑块,所述第二调节件设置在右滑块顶端,所述第二辅助件设置在底座上,且第二辅助件输出端与第二调节件连接,所述第二压板位于工作台上方,且切割机位于第二压板左侧,所述第二调节件与第二压板连接;还包括第二固定件和三组第一固定件,所述第二固定件设置在第二压板上,并在第二压板底端左半区域上设置有第二放置槽,且所述第二固定件输出端位于第二放置槽内,所述三组第一固定件分别设置在第一压板左半区域、右半区域和中部上,并在第一压板底端左半区域、右半区域和中部处均设置有第一放置槽,且所述三组第一固定件输出端分别位于三组第一放置槽内;还包括放置板和两组提手,所述工作台顶端设置有安置槽,放置板设置在安置槽内部,所述两组提手分别设置在放置板左右两端上。
本发明的一种晶圆流片用切割装置,所述第一辅助件包括两组左支板和两组左伸缩电机,第二辅助件包括两组右支板和两组右伸缩电机,所述两组左支板分别设置在底座顶端左前侧和左后侧上,两组左伸缩电机分别设置在两组左支板右端,所述左伸缩电机的右部输出端上设置有左驱动杆,且左驱动杆右端与第一调节件左端连接,所述两组右支板分别设置在底座顶端右前侧和右后侧上,两组右伸缩电机分别设置在两组右支板左端,所述右伸缩电机的左部输出端上设置有右驱动杆,且右驱动杆左端与第二调节件右端连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏英锐半导体有限公司,未经江苏英锐半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811060250.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





