[发明专利]一种晶圆流片用切割装置在审

专利信息
申请号: 201811060250.9 申请日: 2018-09-12
公开(公告)号: CN108922859A 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 王昌华 申请(专利权)人: 江苏英锐半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/304
代理公司: 常州市权航专利代理有限公司 32280 代理人: 袁兴隆
地址: 224002 江苏省盐城市经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 放置板 辅助件 固定件 流片 压板 切割机 切割装置 安置槽 输出端 两组 提手 种晶 工作台顶端 安全效果 附属装置 固定效果 增强材料 使用性 左滑块 工作台 粉屑 晶圆 切刀 底座 切割 遗留 清洁 生产
【说明书】:

发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片用切割装置,其无需工作人员手按材料进行固定,提高安全效果;同时增强材料切割时的固定效果,提高使用可靠性;且方便后续对工作台上遗留的粉屑进行清洁,提高使用性;包括工作台、切割机和底座,切割机输出端上设置有切刀;还包括第一辅助件、第一调节件、第一压板、第二辅助件、第二调节件和第二压板,第一调节件设置在左滑块顶端,第二辅助件输出端与第二调节件连接;还包括第二固定件和三组第一固定件,第二固定件设置在第二压板上;还包括放置板和两组提手,工作台顶端设置有安置槽,放置板设置在安置槽内部,两组提手分别设置在放置板左右两端上。

技术领域

本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片用切割装置。

背景技术

众所周知,晶圆流片用切割装置是一种用于晶圆流片生产过程中,对其进行切割,以便后续进行加工的辅助装置,其在晶圆流片生产附属领域中得到广泛的使用;现有的晶圆流片用切割装置包括工作台、切割机和底座,工作台设置在底座顶端,切割机设置在工作台顶端右半区域上,并在切割机输出端上设置有切刀;现有的晶圆流片用切割装置使用时只需将材料放置在工作台上,并使其需要切割的区域位于切刀正下方,然后手按材料进行固定,同时控制切割机带动切刀向下移动,对材料进行切割即可;现有的晶圆流片用切割装置使用中发现,切割过程中工作人员手与切刀间的距离较近,导致其安全效果较差;并且其单纯依靠手按进行固定,固定效果有限,使用可靠性有限;且后续还需使用工具对工作台上遗留的粉屑进行清洁,较为麻烦,从而导致其使用性有限。

发明内容

为解决上述技术问题,本发明提供一种可无需工作人员手按材料进行固定,提高安全效果;同时增强材料切割时的固定效果,提高使用可靠性;且方便后续对工作台上遗留的粉屑进行清洁,提高使用性的晶圆流片用切割装置。

本发明的一种晶圆流片用切割装置,包括工作台、切割机和底座,工作台设置在底座顶端,切割机设置在工作台顶端右半区域上,并在切割机输出端上设置有切刀;还包括第一辅助件、第一调节件、第一压板、第二辅助件、第二调节件和第二压板,所述底座顶端左前区域和左后区域上均设置有左滑槽,并在左滑槽内设置有左滑块,所述第一调节件设置在左滑块顶端,所述第一辅助件设置在底座上,且第一辅助件输出端与第一调节件连接,所述第一压板位于工作台上方,且切割机位于第一压板右侧,所述第一调节件与第一压板连接,底座顶端右前区域和右后区域上均设置有右滑槽,并在右滑槽内设置有右滑块,所述第二调节件设置在右滑块顶端,所述第二辅助件设置在底座上,且第二辅助件输出端与第二调节件连接,所述第二压板位于工作台上方,且切割机位于第二压板左侧,所述第二调节件与第二压板连接;还包括第二固定件和三组第一固定件,所述第二固定件设置在第二压板上,并在第二压板底端左半区域上设置有第二放置槽,且所述第二固定件输出端位于第二放置槽内,所述三组第一固定件分别设置在第一压板左半区域、右半区域和中部上,并在第一压板底端左半区域、右半区域和中部处均设置有第一放置槽,且所述三组第一固定件输出端分别位于三组第一放置槽内;还包括放置板和两组提手,所述工作台顶端设置有安置槽,放置板设置在安置槽内部,所述两组提手分别设置在放置板左右两端上。

本发明的一种晶圆流片用切割装置,所述第一辅助件包括两组左支板和两组左伸缩电机,第二辅助件包括两组右支板和两组右伸缩电机,所述两组左支板分别设置在底座顶端左前侧和左后侧上,两组左伸缩电机分别设置在两组左支板右端,所述左伸缩电机的右部输出端上设置有左驱动杆,且左驱动杆右端与第一调节件左端连接,所述两组右支板分别设置在底座顶端右前侧和右后侧上,两组右伸缩电机分别设置在两组右支板左端,所述右伸缩电机的左部输出端上设置有右驱动杆,且右驱动杆左端与第二调节件右端连接。

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