[发明专利]一种低温熔融盐介质制备纳米硅的方法在审

专利信息
申请号: 201811053832.4 申请日: 2018-09-11
公开(公告)号: CN109081350A 公开(公告)日: 2018-12-25
发明(设计)人: 黄辉;余佳阁;梁初;张文魁;夏阳;甘永平;张俊 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: C01B33/023 分类号: C01B33/023;B82Y30/00
代理公司: 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 代理人: 冯年群
地址: 310014 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 纳米硅 低温熔融盐 金属氢化物 无水氯化铝 二氧化硅 介质制备 制备 惰性气氛保护 去离子水洗涤 纳米硅粉 稀酸浸泡 真空烘干 反应器 研磨 还原剂 熔融盐 体材料 质量比 抽滤 硅源 冷却 能耗
【说明书】:

发明公开了一种利用低温熔融盐介质制备纳米硅的方法,所述纳米硅的制备是以二氧化硅为硅源,在真空或惰性气氛保护下、将二氧化硅、金属氢化物和无水氯化铝按质量比为1:1~5:5~20的比例混合研磨均匀,置于反应器内,以1~20℃/min的升温速率升至100~700℃,反应1~60h;反应结束后,冷却至室温,将反应产物经稀酸浸泡、去离子水洗涤,然后抽滤、真空烘干即得纳米硅粉体材料。本发明方法的特点是利用金属氢化物为还原剂、无水氯化铝熔融盐为反应介质,可以在较低的温度下制备纳米硅,显著降低了能耗和成本,易于实现工业化生产。

技术领域

本发明属于非晶硅制备技术领域,具体涉及一种低温熔融盐介质制备纳米硅的方法。

背景技术

硅是工业界应用最广泛的元素之一,在微电子器件、集成电路、太阳能发电和锂离子电池等领域具有重要的应用前景。硅的地壳丰度为27%,仅次于氧(46%),硅较少以单质的形式在自然界出现,主要以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式存在。制备纯硅的方法较多,其硅源多为二氧化硅、氟硅酸盐、卤硅烷及其衍生物等。目前,工业上制备硅的方法主要有:(1)碳热还原法,以硅石(其主要成分为二氧化硅),在电弧炉中还原硅石(SiO2含量大于99%),使用的还原剂为石油焦和木炭等,可直接炼出制造硅钢片用的高质量硅。(2)三氯氢硅氢还原法,是德国西门子(Siemens)公司于1954年发明的,又称西门子法,其原理是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上,制成半导体级高纯多晶硅。(3)硅烷热分解法,将SiH4气体导入硅烷分解炉,在800~900℃的发热硅芯上分解并沉积出高纯多晶硅。上述几种制备方法反应温度高、并且在生产过程中能耗大,产生大量副产物,对设备的要求也很高。因此,探究一种高效、经济、安全、环境友好的硅制备方法具有重要的应用推广价值。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的不足,提供一种以低温氯化铝熔融盐为反应介质,利用金属氢化物将二氧化硅还原来合成纳米硅的方法,其工艺简单、合成温度低、反应效率高、对环境友好,易于工业化生产。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:

一种低温熔盐介质制备纳米硅的方法,包括如下步骤:

S1、在真空或保护气氛下,将含二氧化硅的原料、金属氢化物和无水氯化铝研磨均匀,并将混合物转移至密闭的反应器内;

S2、将反应器以1~20℃/min的升温速率加热至100~700℃,并保温1~60h;

S3、待反应结束后,冷却至室温,取出反应器内的固体产物,依次经稀酸浸泡、去离子水洗涤,然后抽滤、真空烘干得到纳米硅材料。

本发明中,原料金属氢化物和无水氯化铝的纯度不低于化学纯。

作为优选的,所述步骤S1中的含二氧化硅的原料、金属氢化物和无水氯化铝的质量比1:1~5:5~20。

作为优选的,所述步骤S1中的金属氢化物为氢化锂、氢化钠、氢化钾、氢化镁、氢化钙中的一种或几种。

作为优选的,所述步骤S1中的含二氧化硅的原料为二氧化硅、粉煤灰、石英、硅藻土、硅石、砂子中的一种或几种。

作为优选的,所述步骤S2中的升温速率为1~5℃/min。

更为优选的,所述步骤S2中的升温速率为1℃/min。

作为优选的,所述步骤S2中的加热温度为100~500℃。

更为优选的,所述步骤S2中的加热温度为200℃。

作为优选的,所述步骤S2中的保温时间为5~50小时。

更为有选的,所述步骤S2中的保温时间为10小时。

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