[发明专利]用于太阳能电池的窗口层、太阳能电池及其制备方法有效
| 申请号: | 201811025343.8 | 申请日: | 2018-09-04 |
| 公开(公告)号: | CN109216482B | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
| 发明(设计)人: | 陈瑛;周显华;殷新建 | 申请(专利权)人: | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0296 | 分类号: | H01L31/0296;H01L31/0392;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
| 地址: | 200063 上海市普*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 太阳能电池 窗口 及其 制备 方法 | ||
1.一种太阳能电池窗口层的制备方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
1)提供一基底;
2)于所述基底的表面形成增透吸收层,所述增透吸收层用于增加太阳能电池对太阳光的透过率并增加所述太阳能电池对短波光的吸收,所述增透吸收层为氧化镉层;
3)于所述增透吸收层远离所述基底的表面形成保护层,所述保护层为硒化锌层;
4)于所述保护层远离所述增透吸收层的表面形成缓冲层,所述缓冲层为碲锌镉层;
5)将步骤4)得到的结构进行活化退火处理,所述活化退火处理的活化退火温度介于395℃~400℃之间,所述活化退火处理的活化退火时间介于30min~40min之间;
所述窗口层的厚度介于40nm~70nm之间。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池窗口层的制备方法,其特征在于,步骤2)中,采用蒸镀工艺于所述基底的表面形成所述增透吸收层;步骤3)中,采用蒸镀工艺于所述增透吸收层远离所述基底的表面形成所述保护层;步骤4)中,采用蒸镀工艺于所述保护层远离所述增透吸收层的表面形成所述缓冲层。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池窗口层的制备方法,其特征在于,将步骤4)得到的结构置于湿度介于25%~80%之间的环境中进行活化退火处理。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池窗口层的制备方法,其特征在于,步骤4)之后,还包括去除所述基底的步骤。
5.一种太阳能电池的窗口层,其特征在于,所述窗口层的厚度介于40nm~70nm之间,所述窗口层包括:
增透吸收层,包括相对的第一表面及第二表面,用于增加太阳能电池对太阳光的透过率并增加所述太阳能电池对短波光的吸收,所述增透吸收层为氧化镉层;
保护层,位于所述增透吸收层的第一表面上,所述保护层为硒化锌层;
缓冲层,位于所述保护层远离所述增透吸收层的表面上,所述缓冲层为碲锌镉层。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池的窗口层,其特征在于,所述窗口层还包括:
第一扩散层,位于所述增透吸收层与所述保护层之间,所述第一扩散层的材料包括Zn1-xCdxSe,其中,0<x<1;
第二扩散层,包括Zn1-xCdxSe层及Zn1-yCdyTe层,所述Zn1-xCdxSe层位于所述保护层与所述Zn1-yCdyTe层之间,所述Zn1-yCdyTe层位于所述Zn1-xCdxSe层与所述缓冲层之间,其中,0<y<1。
7.一种太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述太阳能电池的制备方法包括如下步骤:
1)提供一衬底层,所述衬底层包括相对的第一表面及第二表面;
2)于所述衬底层的第一表面形成窗口层,所述窗口层的厚度介于40nm~70nm之间,所述窗口层包括增透吸收层、保护层及缓冲层,形成所述窗口层的具体方法为:于所述衬底层的第一表面形成增透吸收层;于所述增透吸收层远离所述衬底层的表面形成保护层;于所述保护层远离所述增透吸收层的表面形成缓冲层;
3)于所述缓冲层远离所述保护层的表面形成光吸收层,之后进行活化退火处理,所述活化退火处理的活化退火温度介于395℃~400℃之间,所述活化退火处理的活化退火时间介于30min~40min之间;
4)于所述光吸收层远离所述窗口层的表面形成背电极层;
所述增透吸收层为氧化镉层,所述保护层为硒化锌层,所述缓冲层为碲锌镉层。
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