[发明专利]一种静电吸盘

权利要求书

1.一种静电吸盘，其特征在于，包括相互配合安装的第一基体和第二基体，在所述第一基体与所述第二基体之间形成冷却腔；在所述第一基体与所述第二基体的配合安装处通过氩弧焊或离子束焊的方式连接，使得所述冷却腔形成密封腔体。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述第一基体的配合安装面上设有电极，所述第二基体的配合安装面上对应设有过孔，所述电极穿过所述过孔，并在所述电极与过孔的安装配合处通过氩弧焊或离子束焊的方式连接。

3.根据权利要求2所述的静电吸盘，其特征在于，所述电极与所述过孔之间为过盈配合或者过渡配合安装。

4.根据权利要求2或3所述的静电吸盘，其特征在于，所述电极与所述过孔之间设置有第一密封圈。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述第一基体的配合安装面延伸处一围合的第一凸台，所述第二基体的配合安装面上延伸出一围合的第二凸台，所述第二凸台嵌套安装入第一凸台围合的腔体内后形成冷却腔，并在所述第一凸台和所述第二凸台的嵌套安装处通过氩弧焊或离子束焊的方式连接。

6.根据权利要求5所述的静电吸盘，其特征在于，所述第一凸台与所述第二凸台之间为过盈配合或者过渡配合嵌套。

7.根据权利要求5或6所述的静电吸盘，其特征在于，所述第一凸台与所述第二凸台之间设置有第二密封圈。

8.根据权利要求5所述的静电吸盘，其特征在于，所述第一凸台和第二凸台均呈圆形设置。

9.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述第二基体的配合安装面上还凸设有多条凸棱，所述凸棱位于所述冷却腔内，所述凸棱构成冷却气体流路和冷却液体流路，所述冷却气体流路和所述冷却液体流路之间互不相通。

10.根据权利要求9所述的静电吸盘，其特征在于，所述冷却气体流路中流通的介质为惰性气体，所述冷却液体流路中流通的介质为水或硅油。