[发明专利]超导基带表面缺陷检测系统及其检测方法

说明书

本发明公开了一种超导基带表面缺陷检测系统，包括，光源，其输出激光并照射至超导基带的待检测表面；图像采集单元，其连续采集激光被待检测表面反射后的反射光图像；图像处理单元，其接收图像采集单元输出的反射光图像，对所述反射光图像进行处理，输出超导基带的表面缺陷程度。本发明的超导基带表面缺陷检测系统，用于超导基带抛光前后对其进行表面缺陷程度的非接触式无损伤、在线、长距离、连续检测，为下道生产工艺提供可靠的基带表面质量报告，提高生产高温超导带材的合格率；同时，还可以用于确定原带质量对抛光效果的影响。

技术领域

本发明属于超导基带技术领域，涉及一种用于超导基带表面缺陷检测的非接触检测系统及其检测方法。

背景技术

众所周知，第二代高温超导是以RYBCO(R＝稀土金属，Y＝铱，B＝金属钡，C＝铜，O＝氧)为主要成分的金属氧化物，具备超导特性的最基本要求是形成的金属氧化物晶体必须是双轴定向生长结构。要得到高质量的双轴定向生长结构，其衬底的表面必须极为平整，作为鉴定表面质量的测定参数，表面粗糙度Ra，采用原子力显微镜，在5x5μm的测定范围内，要求Ra<1nm。

哈氏合金基带是目前第二代高温超导线材所采用的衬底，基带的表面处理是超导线材制备的第一道工序，极为重要，只有在保证整根基带的表面均达到其上述质量要求，才能确保最终超导产品的质量。

哈氏合金基带的表面处理，采用的是电化学抛光工艺，哈氏合金基带的长度，一般均在1000米以上，电化学抛光的速度一般控制在0.8-1.2m/min，一根基带的表面处理时间在20小时左右。为了不影响成品超导带线的超导特性，要求基带表面的表面缺陷在一定范围内，如何无损伤的检测超导基带表面的缺陷度是生产高质量成品超导带材的关键环节。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种超导基带表面缺陷检测系统，实现无损伤的检测超导基带表面缺陷程度。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种超导基带表面缺陷检测系统，包括，

光源，其输出激光并照射至超导基带的待检测表面；

图像采集单元，其连续采集激光被待检测表面反射后的反射光图像；

图像处理单元，其接收图像采集单元输出的反射光图像，对所述反射光图像进行处理，输出超导基带的表面缺陷程度。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述图像处理单元对反射光图像进行处理，输出超导基带的表面平整度曲线图，所述平整度曲线图以检测起点为原点、以超导基带的延伸方向为X轴，以超导基带的表面质量为Y轴。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述光源向超导基带宽度方向的中间部位照射激光。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述图像处理单元根据反射光图像计算反射光的反射角，并通过反射角计算超导基带的表面缺陷程度。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述激光以点状光、面状光或者线状光照射至超导基带的待检测表面。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括其还包括基带传送机构，所述基带传送机构承载待检测的超导基带后驱动超导基带沿自身的长度延伸方向移动。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述基带传送机构为皮带传送线。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述基带传送机构包括沿传送方向依次设置的送带轮、导带轮和牵带轮，所述送带轮、导带轮和牵带轮三者的轮面沿同一平面设置；所述送带轮、导带轮和牵带轮上均套设有橡胶套。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述图像采集单元为线阵CCD相机。

为了解决上述技术问题，本发明还提供了一种超导基带表面缺陷检测方法，包括以下步骤，