[发明专利]一种改进型阳极层离子源

权利要求书

1.一种改进型阳极层离子源，包括由阳极环、内阴极和外阴极构成的放电室，所述阳极环位于内阴极与外阴极之间，内阴极与外阴极之间设置有用于穿过阳极环内孔中心的柱状磁体，其特征在于：所述阳极环一侧端面为锥面，且阳极环关于柱状磁体的中心轴线轴对称，所述内阴极与外阴极的磁极靴之间形成阴极缝隙，阴极缝隙关于柱状磁体的中心轴线轴对称，且阴极缝隙每处的出射方向与该处下方的阳极环锥面垂直；所述阳极环的锥面上每处的法线均与柱状磁体的中心轴线形成夹角α，所述夹角α的范围为15～24°；所述阳极环为采用导电且不导磁材料制作的条形环状体或圆形环状体；所述阳极环一侧的端面形成外凸的锥面。

2.根据权利要求1所述的改进型阳极层离子源，其特征在于：所述柱状磁体为柱状的永磁铁或电磁铁，柱状磁体一端与内阴极连接，另一端与外阴极的磁轭连接。

3.根据权利要求2所述的改进型阳极层离子源，其特征在于：所述内阴极与外阴极均采用软磁材料制作，内阴极与外阴极的表面均镀 有铬层。

4.根据权利要求1～3中任意一项权利要求所述的改进型阳极层离子源，其特征在于：所述放电室底部设置有气体缓冲室，气体缓冲室内设有气体缓冲腔，气体缓冲室一侧开有与气体缓冲腔连通的注气孔，所述外阴极的磁轭上开有多个与气体缓冲腔连通的配气孔。

5.根据权利要求4所述的改进型阳极层离子源，其特征在于：所述多个配气孔均位于靠近阴极缝隙的外阴极磁轭上。

6.根据权利要求5所述的改进型阳极层离子源，其特征在于：靠近注气孔的配气孔直径尺寸大于远离注气孔的配气孔直径尺寸。