[发明专利]一种蒸镀设备

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀设备，该蒸镀设备，包括：线性蒸发源，所述线性蒸发源包括蒸镀腔体和位于所述腔体顶部、且与腔体连通的条形出气槽；出气辊，设置于所述出气槽内，轴心线与所述出气槽的延伸方向平行，且与所述出气槽滚动配合；所述出气辊上设有至少两排出气孔，每排出气孔沿所述出气辊的轴心线方向排列、且贯穿所述出气辊；每排出气孔的设置不同；通过滚动出气辊可以使出气辊上任意一排出气口的出口与出气槽的槽口对应连通。本发明实施例提供的蒸镀设备的蒸镀功能较全面，可以应对不同的蒸镀需求，并且功能切换操作过程简单，不会影响产能。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀设备。

背景技术

目前，有机发光二极管(OLED)的主流制备工艺是蒸镀技术，蒸镀技术主要是利用热蒸发有机材料的原理，即把有机材料填入蒸发源里，在真空环境中，升温加热，使固体有机材料熔融挥发或者升华形成气态，有机材料的气体流沉积到玻璃基板上，形成一层层的有机薄膜，制备成OLED的器件。

线性蒸发源是现有OLED膜层蒸镀设备中常用的一种蒸发源，一般包括蒸镀腔体和盖板两部分，盖板上设有出气孔喷嘴。由于OLED器件的结构、有机材料的特性以及膜厚等要求不同，对于线性蒸发源的出气孔的设置要求即不同，若要通过改变蒸发源的出气孔以满足不同的蒸镀功能，往往需要把蒸发源从蒸镀设备上拆卸下来，然后拆解蒸发源以更换盖板或者出气孔喷嘴，上述操作非常麻烦，严重影响蒸镀设备的产能。

发明内容

本发明公开了一种蒸镀设备，用于提高蒸镀设备的蒸镀功能，以应对不同的蒸镀需求。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种蒸镀设备，包括：

线性蒸发源，所述线性蒸发源包括蒸镀腔体和位于所述腔体顶部、且与腔体连通的条形出气槽；

出气辊，设置于所述出气槽内，轴心线与所述出气槽的延伸方向平行，且与所述出气槽滚动配合；所述出气辊上设有至少两排出气孔，每排出气孔沿所述出气辊的轴心线方向排列、且贯穿所述出气辊；每排出气孔的设置不同；通过滚动出气辊可以使出气辊上任意一排出气口的出口与出气槽的槽口对应连通。

上述蒸镀设备中，线性蒸发源的腔体顶部设置有条形出气槽，在条形出气槽内设置有出气辊，出气辊的轴心线与出气槽的延伸方向平行、且出气辊与出气槽滚动配合；并且，出气辊上设有至少两排沿其轴心线方向排列的出气孔，每排出气孔的设置不同，通过调节出气辊相对于条形出气槽滚动，可以使任一排出气口的出口与出气槽的槽口相对应，即可以实现改变蒸镀出口，从而满足不同的OLED器件结构、有机材料的特性以及膜厚的蒸镀要求。因此，本发明实施例提供的蒸镀设备的蒸镀功能较全面，可以应对不同的蒸镀需求，并且功能切换操作过程简单，不会影响产能。

一种可选的实施例中，每排出气孔的设置包括出气孔的数量、排列间隔和孔径的设置。

一种可选的实施例中，所述出气槽包括沿所述腔体至蒸汽出口的方向上依次连通的辊筒部和喷嘴部；所述辊筒部与所述出气辊滚动匹配。

一种可选的实施例中，所述辊筒部的截面呈对称设置的两段圆弧型；所述喷嘴部的截面呈方形。

一种可选的实施例中，每排出气孔的孔径小于所述喷嘴部的宽度、且小于所述辊筒部与所述腔体的连通开口的宽度。

一种可选的实施例中，所述出气辊为中空的筒状结构。

一种可选的实施例中，每排出气孔中，每个出气孔的轴心线与所述出气辊的轴心线垂直相交。

一种可选的实施例中，所述蒸镀设备还包括驱动机构，用于驱动所述出气辊相对于所述出气槽滚动。

一种可选的实施例中，所述驱动机构位于条形出气槽的端部，且穿过所述条形出气槽的端部壁体与所述出气辊的端部传动连接。