[发明专利]湿空气制备装置、湿空气制备方法以及光刻装置

权利要求书

1.一种湿空气制备装置，其特征在于，包括：水供给单元、空气供给单元、电场供给单元和雾化腔室单元；

其中，所述水供给单元、所述空气供给单元以及所述电场供给单元分别与所述雾化腔室单元连接；

所述水供给单元用于向所述雾化腔室单元供给水；

所述电场供给单元用于向所述雾化腔室单元供电，使所述雾化腔室单元中形成电场，使水电离雾化；

所述空气供给单元用于向所述雾化腔室单元中供给压缩空气，所述压缩空气与雾化后的水在所述雾化腔室单元中混合，共同形成湿空气；

所述雾化腔室单元包括出气口，所述出气口用于将所述湿空气输出。

2.根据权利要求1所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述水供给单元包括超纯水供给子单元、二氧化碳供给子单元、混合腔室子单元和至少一个喷嘴；

其中，所述超纯水供给子单元、二氧化碳供给子单元以及至少一个喷嘴分别与混合腔室子单元连接；

所述超纯水供给子单元用于向所述混合腔室子单元供给超纯水；

所述二氧化碳供给子单元用于向所述混合腔室子单元供给二氧化碳；

所述混合腔室子单元用于将所述超纯水与所述二氧化碳混合；

所述喷嘴位于所述雾化腔室单元内部，用于将混合后的所述超纯水喷出。

3.根据权利要求2所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述雾化腔室单元还包括至少一个多孔板，所述多孔板与所述喷嘴相对设置；所述电场供给单元包括第一电极和第二电极；所述第一电极与所述喷嘴电连接，所述第二电极与所述多孔板电连接；

所述多孔板与所述喷嘴用于在所述电场供给单元供电时，在所述雾化腔室单元内部形成电场。

4.根据权利要求3所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述多孔板为多个，所述喷嘴为多个；

所述多孔板与所述喷嘴一一相对设置。

5.根据权利要求1所述的湿空气制备装置，其特征在于，还包括排废单元；

所述雾化腔室单元还包括排废口，所述排废口与所述排废单元连接，所述排废口用于排出所述雾化腔室单元中的废液至所述排废单元。

6.根据权利要求1所述的湿空气制备装置，其特征在于，还包括湿空气处理单元；

所述湿空气处理单元与所述雾化腔室单元连接；

所述湿空气处理单元包括至少一个次级出气口；

所述湿空气处理单元用于监控所述湿空气的温度、洁净度和流量，并将所述湿空气进行分配，所述次级出气口用于将分配后的所述湿空气输出。

7.根据权利要求6所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述湿空气处理单元包括温控子单元、污染监控子单元和流量分配子单元；

所述温控子单元用于监控所述湿空气的温度；

所述污染监控子单元用于监控所述湿空气的洁净度；

所述流量分配子单元用于将所述湿空气进行分配。

8.根据权利要求1所述的湿空气制备装置，其特征在于，还包括控制单元和传感器单元；

所述传感器单元与所述雾化腔室单元连接，所述传感器单元与所述控制单元电连接，所述控制单元与所述水供给单元的调节端以及所述空气供给单元的调节端电连接；

所述传感器单元用于监测所述湿空气的流量和/或湿度，并反馈给所述控制单元；

所述控制单元用于根据所述湿空气的湿度增加或减少所述水供给单元的水供给量；和/或，所述控制单元用于根据所述湿空气的流量增加或减少所述空气供给单元的空气供给量。

9.一种湿空气制备方法，利用权利要求1-8任一项所述的湿空气制备装置执行，其特征在于，包括：

利用所述电场供给单元向所述雾化腔室单元供电，使所述雾化腔室单元中形成电场；

利用所述水供给单元向所述雾化腔室单元供给水，水在所述电场中电离雾化；

利用所述空气供给单元向所述雾化腔室单元供给压缩空气，使所述压缩空气与雾化后的水混合，形成湿空气；

所述湿空气由所述出气口输出；

所述湿空气传输至用气区域。