[发明专利]一种光刻胶洗边装置

权利要求书

1.一种光刻胶洗边装置，用于清洗曝光后显影后，未曝光光刻胶的去除，其特征在于，该洗边装置包括：晶圆夹具组件，所述晶圆夹具组件具有三个晶圆夹具，三个晶圆夹具的每一个具有多个晶圆固定卡件，所述多个晶圆通过所述晶圆固定卡件将晶圆固定在夹具上；底盘，所述底盘包括上表面和下表面，所述底盘上表面具有安装夹具的固定件，所述下表面中心具有沿铅直线为旋转轴的旋转组件，所述旋转组件带动底盘转动；清洗液喷头组件，所述清洗液喷头组件设置夹具组件的外侧，喷头组件包括多个喷头，所述喷头的个数与晶圆的个数相同，所述喷头喷出清洗液的方向与铅直旋转轴具有一定倾斜角；转动测量部件，用于测量底盘带动晶圆旋转的转速以及夹具旋转时的位置；流速调节装置，用于调节喷头的流速；控制装置，所述控制装置根据测量部件测量晶圆的转速，以及夹具的位置，调整喷嘴的流速，当夹具的位置与喷嘴重合时，提高喷嘴的清洗液的流速，将未曝光的光刻胶充分冲洗。

2.根据权利要求1所述的光刻胶洗边装置，所述喷头还沿水平方向具与水平方向具有倾斜角度，该角度为锐角。

3.根据权利要求1所述的光刻胶洗边装置，所述测量装置光学测量装置，包括激光器、光探测器，分别沿夹具的径向设置在夹具的两侧。

4.根据权利要求1所述的光刻胶洗边装置，所述光学测量装置将测量的光信号转变为电信号，将所述电信号为脉冲信号，将脉冲信号展宽作为增加流速的开关信号。

5.根据权利要求1所述的光刻胶洗边装置，所述喷头为二液体喷头，所述二流体喷头包括中心的液体喷出口和中心外围的气体喷出口。

6.根据权利要求1所述的光刻胶洗边装置，所述流速调节装置还包括控制增加流速时间的部件，通过该部件控制增加流速时的时间。

7.根据权利要求1所述的光刻胶洗边装置，所述测量装置还测量夹具的旋转速度，并根据夹具旋转速度来确定喷头流速的增加量。