[发明专利]一种激光波长测量装置及其标定方法、测量方法

权利要求书

1.一种激光波长测量装置，其特征在于，包括：棱镜、光电探测器与处理系统，所述棱镜用于接收激光，且使入射的激光发生折射后射出，所述光电探测器用于接收发生折射后的激光，并测量其入射位置，所述处理系统用于根据光电探测器接收到的激光的入射位置变化量，计算出被测激光的波长。

2.根据权利要求1所述的激光波长测量装置，其特征在于，还包括至少一个反射镜，从棱镜中出射的激光束入射至反射镜，经反射镜反射后入射至光电探测器。

3.根据权利要求2所述的激光波长测量装置，其特征在于，所述反射镜为多个，且多个反射镜平行设置。

4.根据权利要求2所述的激光波长测量装置，其特征在于，反射镜与光电探测器平行设置。

5.根据权利要求1所述的激光波长测量装置，其特征在于，所述棱镜包括棱镜面一与棱镜面二，所述激光入射至棱镜的棱镜面一，并发生折射，发生折射后的激光入射至棱镜面二时，棱镜面二使得激光再次发生折射，并使激光从棱镜面二射出。

6.根据权利要求5所述的激光波长测量装置，其特征在于，所述棱镜面一与棱镜面二相接，其夹角为锐角。

7.根据权利要求1所述的激光波长测量装置，其特征在于，所述棱镜的材质为光子晶体。

8.根据权利要求1-7任一所述的激光波长测量装置的标定方法，其特征在于，包括以下步骤：

调整棱镜与光电探测器的位置关系，使得入射激光入射至棱镜，经棱镜的两个棱镜面折射后射出，并可以被光电探测器接收；

使已知波长激光入射至棱镜，测量该激光在光电探测器上的入射位置；

给定入射激光波长分别为λ1、λ2、λ3…λn,记录对应波长下的光电探测器的位置变化量X1、X2、X3…Xn，通过非线性拟合获得激光波长变化量与光电探测器的位置变化量的公式和/或关系曲线。

9.根据权利要求1-7任一所述的激光波长测量装置的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

调整棱镜与光电探测器的位置关系，使得入射激光入射至棱镜，经棱镜的两个棱镜面折射后射出，并可以被光电探测器接收；

使已知波长的原始激光入射至棱镜，测量原始激光在光电探测器上的入射位置；

使被测激光入射至棱镜，且被测激光的入射角与原始激光的入射角相同，被测激光入射至棱镜的入射位置相同，测量被测激光在光电探测器上的入射位置；

根据原始激光和被测激光在光电探测器的位置计算入射位置变化量，根据激光波长变化量与光电探测器的位置变化量的公式和/或关系曲线计算出被测激光的波长。