[发明专利]一种对碲镉汞pn结材料进行测试的方法有效
| 申请号: | 201810675393.4 | 申请日: | 2018-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN109116270B | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
| 发明(设计)人: | 许秀娟 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02 |
| 代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 于金平 |
| 地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 碲镉汞 pn 材料 进行 测试 方法 | ||
1.一种对碲镉汞pn结材料进行测试的方法,其特征在于,包括:
对碲镉汞pn结材料进行预处理;
将预处理后的碲镉汞pn结材料进行变化磁场强度的霍尔测试;
根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率;
所述将预处理后的碲镉汞pn结材料进行变化磁场强度的霍尔测试,具体包括:将预处理后的碲镉汞pn结材料进行渐变磁场强度的霍尔测试;
所述霍尔测试的磁场强度为由1T渐变为0T,或者,所述霍尔测试的磁场强度为由0T渐变为1T;
所述磁场强度的步长为0.01-0.1T,电流为0.1mA;
所述根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率,具体包括:
根据测试结果获得碲镉汞pn结材料最终的载流子浓度和迁移率,并根据测试结果计算霍尔系数RH(0.1T)/RH(1T)、RH(1T)/RH(0.5T)和RH(1T)/RH(0.7T)之间的比率,并结合RH(0.1T)、RH(0.5T)、RH(0.7T)和RH(1T)的值确定碲镉汞pn结材料的导电类型。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述碲镉汞pn结材料尺寸为5×5mm—15×15mm。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对碲镉汞pn结材料进行预处理,具体包括:
对碲镉汞pn结材料进行清洗处理和吹干处理。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的方法,其特征在于,所述根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率,具体包括:
将测试结果带入定量迁移率谱分析QMSA软件,通过QMSA软件确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据测试结果计算霍尔系数RH(0.1T)/RH(1T)、RH(1T)/RH(0.5T)和RH(1T)/RH(0.7T)之间的比率,并结合RH(0.1T)、RH(0.5T)、RH(0.7T)和RH(1T)的值确定碲镉汞pn结材料的导电类型,具体包括:
当RH(0.1T)0,RH(0.5T)0,RH(0.7T)0,RH(1T)0,RH(1T)/RH(0.5T)1.2,RH(1T)/RH(0.7T)1.2,则碲镉汞pn结材料的导电类型为p型。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据测试结果计算霍尔系数RH(0.1T)/RH(1T)、RH(1T)/RH(0.5T)和RH(1T)/RH(0.7T)之间的比率,并结合RH(0.1T)、RH(0.5T)、RH(0.7T)和RH(1T)的值确定碲镉汞pn结材料的导电类型,具体包括:
当RH(0.1T)/RH(1T)1.2,RH(0.1T)0,RH(0.5T)0,RH(1T)0,RH(1T)/RH(0.5T)1.2,则碲镉汞pn结材料的导电类型为n型。
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