[发明专利]一种对碲镉汞pn结材料进行测试的方法有效

专利信息
申请号: 201810675393.4 申请日: 2018-06-27
公开(公告)号: CN109116270B 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 许秀娟 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: G01R33/02 分类号: G01R33/02
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 于金平
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 碲镉汞 pn 材料 进行 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种对碲镉汞pn结材料进行测试的方法,其特征在于,包括:

对碲镉汞pn结材料进行预处理;

将预处理后的碲镉汞pn结材料进行变化磁场强度的霍尔测试;

根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率;

所述将预处理后的碲镉汞pn结材料进行变化磁场强度的霍尔测试,具体包括:将预处理后的碲镉汞pn结材料进行渐变磁场强度的霍尔测试;

所述霍尔测试的磁场强度为由1T渐变为0T,或者,所述霍尔测试的磁场强度为由0T渐变为1T;

所述磁场强度的步长为0.01-0.1T,电流为0.1mA;

所述根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率,具体包括:

根据测试结果获得碲镉汞pn结材料最终的载流子浓度和迁移率,并根据测试结果计算霍尔系数RH(0.1T)/RH(1T)、RH(1T)/RH(0.5T)和RH(1T)/RH(0.7T)之间的比率,并结合RH(0.1T)、RH(0.5T)、RH(0.7T)和RH(1T)的值确定碲镉汞pn结材料的导电类型。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,

所述碲镉汞pn结材料尺寸为5×5mm—15×15mm。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对碲镉汞pn结材料进行预处理,具体包括:

对碲镉汞pn结材料进行清洗处理和吹干处理。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的方法,其特征在于,所述根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率,具体包括:

将测试结果带入定量迁移率谱分析QMSA软件,通过QMSA软件确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据测试结果计算霍尔系数RH(0.1T)/RH(1T)、RH(1T)/RH(0.5T)和RH(1T)/RH(0.7T)之间的比率,并结合RH(0.1T)、RH(0.5T)、RH(0.7T)和RH(1T)的值确定碲镉汞pn结材料的导电类型,具体包括:

当RH(0.1T)0,RH(0.5T)0,RH(0.7T)0,RH(1T)0,RH(1T)/RH(0.5T)1.2,RH(1T)/RH(0.7T)1.2,则碲镉汞pn结材料的导电类型为p型。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据测试结果计算霍尔系数RH(0.1T)/RH(1T)、RH(1T)/RH(0.5T)和RH(1T)/RH(0.7T)之间的比率,并结合RH(0.1T)、RH(0.5T)、RH(0.7T)和RH(1T)的值确定碲镉汞pn结材料的导电类型,具体包括:

当RH(0.1T)/RH(1T)1.2,RH(0.1T)0,RH(0.5T)0,RH(1T)0,RH(1T)/RH(0.5T)1.2,则碲镉汞pn结材料的导电类型为n型。

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