[发明专利]Mn-Zn-W-O系溅射靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201810651297.6 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN109695021B | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 加守雄一 | 申请（专利权）人： | 迪睿合株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C29/12;C22C1/05 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李志强;杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mn zn 溅射 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.溅射靶材，其是在成分组成中含有Mn、Zn、W和O的Mn-Zn-W-O系溅射靶材，其中，
Mn相对于W的原子含量比(Mn/W)为1.0以上，
含有W、MnWO4和MnO的结晶相，
按W的结晶相和MnWO4的结晶相的总和为100摩尔%计，W的结晶相超过16摩尔%。
2.权利要求1的溅射靶材，其中，在所述成分组成中进一步含有Cu。
3.权利要求1或2的溅射靶材，其中，在所述成分组成中进一步含有选自Mg、Ag、Ru、Ni、Zr、Mo、Sn、Bi、Ge、Co、Al、In、Pd、Ga、Te、V、Si、Ta、Cr和Tb的至少1种以上的元素。
4.制备方法，其是权利要求1~3中任一项的Mn-Zn-W-O系溅射靶材的制备方法，其包括：
将含有锰氧化物粉末、锌氧化物粉末和金属钨粉末的混合粉末湿式混合12小时以上的混合工序，和
在所述混合工序之后，将所述混合粉末在600℃以上的温度下烧结的烧结工序。
5.权利要求4的制备方法，其中，所述混合粉末进一步含有含铜粉末。
6.权利要求5的制备方法，其中，所述含铜粉末为金属铜粉末。
7.权利要求4~6中任一项的制备方法，其中，所述混合粉末进一步含有由选自以下的至少1种元素的单体或化合物组成的粉末：Mg、Ag、Ru、Ni、Zr、Mo、Sn、Bi、Ge、Co、Al、In、Pd、Ga、Te、V、Si、Ta、Cr和Tb。
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