[发明专利]漏电测试方法

权利要求书

1.一种漏电测试方法，其特征在于，包括：

提供一待测试样品，所述待测试样品包括绝缘层，所述绝缘层内形成有漏电测试结构，所述漏电测试结构包括：第一梳状金属线、第二梳状金属线，所述第一梳状金属线包括多个平行排列的第一梳齿金属线，所述第二梳状金属线包括多个平行排列的第二梳齿金属线，所述第一梳齿金属线与所述第二梳齿金属线相互间隔平行排列；

刻蚀所述测试样品，在所述测试样品内形成一凹槽，所述凹槽的一侧侧壁至少暴露出所述多个第一梳齿金属线的端部；

通过观察所述凹槽的侧壁暴露出的所述多个第一梳齿金属线端部的电压对比度，定位失效位置。

2.根据权利要求1所述的漏电测试方法，其特征在于，所述凹槽的侧壁还同时暴露出所述多个第二梳齿金属线的端部；同时观察所述多个第一梳齿金属线端部和多个第二梳齿金属线端部的电压对比度，定位失效位置。

3.根据权利要求1所述的漏电测试方法，其特征在于，所述多个第一梳齿金属线的一端均连接至第一梳柄金属线；所述第二梳齿金属线的一端均连接至第二梳柄金属线；所述第一梳齿金属线和第二梳齿金属线位于所述第一梳柄金属线和第二梳柄金属线之间。

4.根据权利要求3所述的漏电测试方法，其特征在于，所述凹槽切断所述第一梳柄金属线，所述凹槽的长度方向垂直所述第一梳齿金属线。

5.根据权利要求1所述的漏电测试方法，其特征在于，所述凹槽的长度方向垂直所述第一梳齿金属线；所述漏电测试方法还包括：在测试过程中，逐次增大所述凹槽的宽度，逐渐暴露出不同位置处的第一梳齿金属线端部，以准确定位第一梳齿金属线的具体失效点。

6.根据权利要求5所述的漏电测试方法，其特征在于，每次增大所述凹槽宽度后，暴露出的第一梳齿金属线端部位置距离前次暴露出的第一梳柄金属线端部位置1μm～10μm。

7.根据权利要求1所述的漏电测试方法，其特征在于，所述第一梳齿金属线包括两层第一梳齿子金属线，所述两层第一梳齿子金属线之间通过第一导电通孔连接；所述第二梳齿金属线包括两层第二梳齿子金属线，所述两层第二梳齿子金属线之间通过第二导电通孔连接。

8.根据权利要求1所述的漏电测试方法，其特征在于，采用聚焦离子束刻蚀所述测试样品，形成所述凹槽。

9.根据权利要求1所述的漏电测试方法，其特征在于，在聚焦离子束设备的电子束扫描条件下，观察所述电压对比度。