[发明专利]一种环保型硅片清洗剂及制备方法

权利要求书

1.一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：水0-99.9份、碱0.1-100份、表面活性剂0-10份、防锈剂0-10份、螯合剂0-10份、分散剂0-10份、杀菌剂0-5份和消泡剂0-5份，所述份数为重量份数。

2.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱20份、表面活性剂2份、防锈剂4份、螯合剂2份、分散剂1份、杀菌剂2份、消泡剂0.1份，其余为水，所述份数为重量份数。

3.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱30份、表面活性剂2份、螯合剂2份、分散剂2份、杀菌剂2份，消泡剂0.1份，其余为水，所述份数为重量份数。

4.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱40份、表面活性剂4份、防锈剂4份、螯合剂1份、杀菌剂2份，其余为水，所述份数为重量份数。

5.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述的碱是无机碱,如氢氧化钠、氢氧化钾和氢氧化钙。

6.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述的表面活性剂是离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂或两性离子表面活性剂,如脂肪醇醚硫酸酯盐、聚氧化乙烯脂肪醇醚和烷基甜菜碱。

7.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述的防锈剂是有机酸盐、有机酸盐酯、硼酸盐、硼酸酯、十二烯基丁二酸盐或者十二烯基丁二酸盐酯，如十二二元酸纳盐、十一二元酸纳盐、三元酸纳盐和硼酸纳盐，所述的防锈剂是其中的一种或者几种的组合，所述螯合剂是有机类螯合剂或无机类螯合剂，如醋酸钙、柠檬酸及其钙、钾、钠盐、葡糖酸的钙、钠盐、葡糖酸-δ-内酯、氧化硬脂精、二醋酸一钠、酒石酸及其钾钠盐、硫代酸钠和山梨糖醇，所述螯合剂是其中的一种或者几种的组合，所述分散剂是聚羧酸类分散剂，如马来酸-丙烯酸共聚物、聚马来酸、聚丙烯酸钠、羧酸-磺酸盐共聚物、丙烯酸-丙烯酸酯-磺酸盐三元共聚物和聚环氧琥珀酸钠，所述分散剂是其中的一种或者几种的组合，所述杀菌剂是有机类杀菌剂或无机类杀菌剂，如BK、BIT、BBIT、MBM和MOB，所述杀菌剂是其中的一种或者几种的组合，所述消泡剂是有机硅类消泡剂或聚醚类消泡剂，如FOAM BAN HP720、FOAMBAN MS550和DF-20，所述消泡剂是其中的一种或者几种的组合。

8.一种如权利要求1所述的环保型硅片清洗剂的制备方法，其特征在于：所述制备方法具有以下步骤：

①将水和碱加入混合釜中，搅拌30-60分钟，得到均匀透明溶液；

②将防锈剂加入混合釜中，搅拌30-60分钟，得到均匀透明溶液；

③将表面活性剂、分散剂、杀菌剂和消泡剂加入混合釜中，混合搅拌30-60分钟，得到均匀透明溶液。