[发明专利]一种具有倾斜式喷气机构的用于输送玻璃面板的气浮系统

说明书

本发明涉及一种具有倾斜式喷气机构的用于输送玻璃面板的气浮系统。包括节流板，节流板上均布设有贯通的毛细管孔，改进在于：所述毛细管孔为向玻璃面板运动方向一侧倾斜的倾斜孔，倾斜角为10～20度角。倾斜角使沿毛细管孔方向气流的向上力F2，分解为沿玻璃面板运动方向的水平力F2x和垂直于玻璃面板方向的垂直力F2y,水平力F2x大于或等于玻璃面板运动过程中所受的阻力f，垂直力F2y与玻璃面板的自重相等，实现玻璃面板的平稳传送。

技术领域

本发明属于精密机械技术领域，具体涉及一种用于输送玻璃面板的气浮系统。

背景技术

在光学仪器检测过程中，用于输送玻璃面板的气浮系统传送性能的好坏对仪器的检测精度有很大影响，而振动幅度是考察玻璃面板传送性能好坏的重要指标之一。工业上常用的气浮系统的直立式喷气机构包括玻璃面板1和直立式气浮系统2。参见图4-5，直立式气浮系统2设有节流板21和毛细管孔22，节流板21为水平布置的长方形板，材料为发黑的铝合金板；毛细管孔22垂直于节流板21，相邻毛细管孔22之间的孔间距为20～30mm，毛细管孔22的孔径为2～4mm。当玻璃面板1静止时，毛细管孔22喷出的气流作用力F0垂直于玻璃面板1，此时，F0等于玻璃基板1自重G；当玻璃面板1运动时，毛细管孔22喷出的气流作用力并不垂直于玻璃面板1，从而使气流垂直作用于玻璃面板1上的力分量下降，为了维持对玻璃面板的浮力不变，需要加大供气量（加大供气压力），从而使得耗气量增加；其次，增大供气量的气流对玻璃面板1的作用力F1会向玻璃面板运动方向倾斜θ1角度，将F1分解为沿水平方向的力F1x和竖直方向的力F1y，则F1y=G，因重力G不变，且偏转角过小，则F1x就无法平衡玻璃面板1运动过程中所受的阻力f，而f的存在容易引起或加大玻璃面板1在运动过程中的振动，影响光学检测效果。如何减少耗气量和玻璃面板的振动幅度，是气浮系统设计的重要问题。

发明内容

为了减小玻璃面板传送过程中的振动、提高光学仪器检测精度，本发明提出了一种具有倾斜式喷气机构的用于输送玻璃面板的气浮系统。

一种具有倾斜式喷气机构的用于输送玻璃面板的气浮系统，包括节流板21和毛细管孔22，所述节流板21的材料为发黑的铝合金板，节流板21上均布设有贯通的毛细管孔22，相邻毛细管孔22之间的孔距为20～30mm，毛细管孔22的孔径为2～4mm，

所述毛细管孔22为向玻璃面板运动方向一侧倾斜的倾斜孔，倾斜角为10～20度角；

所述倾斜角使沿毛细管孔22方向气流的向上力F2, 分解为沿玻璃面板1运动方向的水平力F2x和垂直于玻璃面板1方向的垂直力F2y，水平力F2x大于或等于玻璃面板1运动过程中所受的阻力f，垂直力F2y与玻璃面板1的自重相等，实现玻璃面板1的平稳传送。

本发明的有益技术效果体现以下方面：

（1）采用倾斜式喷气的气浮系统能够减小玻璃面板振动幅度，提高整个光学仪器的测量精度。实验得出,倾斜式气浮系统输送玻璃面板时,玻璃面板振幅的最大挠度约为0.56um,而直立式气浮系统工作时,振幅的最大挠度约为0.78um，相对于现有的气浮系统，我们改进的气浮系统确实可以减小气浮板振动幅度。

（2）本发明结构简单，成本低，易于操作；本发明毛细管孔22为向玻璃面板运动方向一侧倾斜的倾斜孔，倾斜角为10～20度角；所述倾斜角使沿毛细管孔22方向气流的向上力F2，分解为沿玻璃面板1运动方向的水平力F2x和垂直于玻璃面板1方向的垂直力F2y，水平力F2x大于或等于玻璃面板1运动过程中所受的阻力f，垂直力F2y与玻璃面板1的自重相等，实现玻璃面板1的平稳传送。

附图说明

图1为本发明结构示意图。

图2为图1的局部放大示意图。

图3为本发明玻璃基板受力示意图。

图4为直立式气浮系统示意图。