[发明专利]有机发光二极管制作方法与装置

权利要求书

1.一种有机发光二极管制作装置，其特征在于，所述有机发光二极管制作装置包括：真空腔体、蒸镀源、基板架、多个遮盖模板、遮盖模板切换机构以及控制器；

所述蒸镀源、所述基板架、所述多个遮盖模板、所述遮盖模板切换机构均位于所述真空腔体内，所述控制器与所述遮盖模板切换机构电连接；

所述遮盖模板切换机构设置于所述基板架远离所述蒸镀源的一侧；

多个所述遮盖模板设置于所述遮盖模板切换机构上，面向所述基板架；

在OLED基板的多个有机功能层或电极层的蒸镀阶段，所述遮盖模板切换机构配置为能够操控将所述遮盖模板贴合到OLED基板远离所述蒸镀源的一侧。

2.根据权利要求1所述的有机发光二极管制作装置，其特征在于，

在OLED基板的多个有机功能层或电极层的蒸镀阶段，所述控制器用于控制所述遮盖模板切换机构操控所述多个遮盖模板在所述OLED基板远离有机发光层一侧切换，以及控制所述遮盖模板切换机构的升降。

3.根据权利要求1所述的有机发光二极管制作装置，其特征在于，

所述多个遮盖模板为柔性基板，所述遮盖模板切换机构为传送带式切换机构；或

所述多个遮盖模板为刚性基板，所述遮盖模板切换机构为多臂式机械臂。

4.根据权利要求1所述的有机发光二极管制作装置，其特征在于，

所述遮盖模板还设有温度控制模块。

5.一种有机发光二极管制作方法，应用于有机发光二极管制作装置，其特征在于，所述有机发光二极管制作装置包括：

遮盖模板切换机构，设置于OLED基板远离有机发光层一侧；

多个遮盖模板，所述多个遮盖模板具有不同的图案层，所述不同的图案层间隔设置于所述遮盖模板切换机构的一侧，

在OLED基板的多个有机功能层或电极层的蒸镀阶段，所述遮盖模板切换机构配置为能够操控将所述遮盖模板贴合到所述OLED基板远离蒸镀源的一侧；

所述有机发光二极管制作方法包括：

在所述OLED基板的正面的导电层表面依次蒸镀多层有机功能层及电极层；

在多个有机功能层或电极层的蒸镀阶段，所述遮盖模板切换机构操控所述多个遮盖模板在所述OLED基板的背面切换。

6.根据权利要求5所述的有机发光二极管制作方法，其特征在于，多个所述遮盖模板均为磁性模板，在处于蒸镀阶段时，多个所述磁性模板磁性吸附于所述OLED基板表面。

7.根据权利要求5或6所述的有机发光二极管制作方法，其特征在于，所述OLED基板远离所述有机发光层一侧的表面还设置有一图案化的贴附膜层。

8.根据权利要求7所述的有机发光二极管制作方法，其特征在于，所述图案化的贴附膜层包含的至少一个区域与其他一个或多个区域的透明度不同和/或导热系数不同和/或反射率不同。

9.根据权利要求7所述的有机发光二极管制作方法，其特征在于，所述图案化的贴附膜层包含的其中一个区域与剩余的其他一个或多个区域的厚度不同。

10.根据权利要求5所述的有机发光二极管制作方法，其特征在于，至少一个所述遮盖模板停留并贴合在OLED基板的背面的时间与其余的一个或多个所述遮盖模板停留并贴合在OLED基板的背面的时间不同。