[发明专利]一种功率半导体模块衬底及功率半导体模块在审
| 申请号: | 201810576056.X | 申请日: | 2018-06-06 |
| 公开(公告)号: | CN108447847A | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
| 发明(设计)人: | 安冰翀 | 申请(专利权)人: | 臻驱科技(上海)有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/538;H01L25/18 |
| 代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 刘锋;吴崇 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 功率半导体模块 开关组 敷层 晶体管芯片 衬底 辅助金属 功率金属 第一开关 功率开关 桥臂单元 芯片 并排设置 降低功率 均衡功率 依次设置 热耦合 杂散 | ||
1.一种功率半导体模块衬底,其特征在于,包括第一桥臂单元,所述第一桥臂单元包括沿第一方向依次设置的第一功率金属敷层、第一辅助金属敷层和第二功率金属敷层;所述第二功率金属敷层设有第一功率开关,所述第一功率金属敷层通过所述第一功率开关与所述第二功率金属敷层导电连接;所述第一辅助金属敷层与所述第一功率金属敷层、所述第二功率金属敷层绝缘设置,并且与所述第一功率开关信号连接;其中,
所述第一功率开关包括第一开关组、第二开关组、第三开关组和第四开关组,所述第一开关组、第二开关组、第三开关组和第四开关组依次沿第二方向并排设置,开关组分别包括沿所述第一方向设置并且相互连接的晶体管芯片和二极管芯片,所述第一开关组的晶体管芯片和所述第三开关组的晶体管芯片分别靠近所述第一辅助金属敷层设置,所述第二开关组的晶体管芯片和所述第四开关组的晶体管芯片分别远离所述第一辅助金属敷层设置。
2.如权利要求1所述的功率半导体模块衬底,其特征在于,还包括第二桥臂单元,所述第二桥臂单元包括沿第一方向依次设置的第三功率金属敷层、第二辅助金属敷层和第四功率金属敷层;所述第三功率金属敷层设有第二功率开关,所述第三功率金属敷层通过所述第一功率开关与所述第二功率金属敷层导电连接,所述第四功率金属敷层通过所述第二功率开关与所述第三功率金属敷层导电连接;所述第二辅助金属敷层与所述第三功率金属敷层、所述第四功率金属敷层绝缘设置,并且与所述第二功率开关信号连接;其中,
所述第二功率开关包括第五开关组、第六开关组、第七开关组和第八开关组,所述第五开关组、第六开关组、第七开关组和第八开关组依次沿第二方向并排设置,开关组分别包括沿所述第一方向设置并且相互连接的晶体管芯片和二极管芯片,所述第五开关组的晶体管芯片和所述第七开关组的晶体管芯片分别靠近所述第二辅助金属敷层设置,所述第六开关组的晶体管芯片和所述第八开关组的晶体管芯片分别远离所述第二辅助金属敷层设置。
3.如权利要求1或2所述的功率半导体模块衬底,其特征在于,所述晶体管芯片和所述二极管芯片沿所述第一方向分别设有两组功率电极,所述晶体管芯片和所述二极管芯片相互靠近的一组的功率电极用于相互连接,所述晶体管芯片和所述二极管芯片相互远离的一组的功率电极用于与功率金属敷层导电连接。
4.如权利要求1所述的功率半导体模块衬底,其特征在于,所述晶体管芯片设有控制电极,所述第一辅助金属敷层通过所述晶体管芯片的控制电极与所述第一开关组、第二开关组、第三开关组和第四开关组信号连接。
5.如权利要求4所述的功率半导体模块衬底,其特征在于,所述第一辅助金属敷层上设有第一栅极信号端子,所述第一开关组和所述第二开关组的晶体管芯片的控制电极分别相对设置,所述第三开关组和所述第四开关组的晶体管芯片的控制电极分别相对设置;所述第二开关组的晶体管芯片的控制电极与所述第一开关组的晶体管芯片的控制电极连接后与所述第一辅助金属敷层信号连接;所述第四开关组的晶体管芯片的控制电极与所述第三开关组的晶体管芯片的控制电极连接后与所述第一辅助金属敷层信号连接。
6.如权利要求4所述的功率半导体模块衬底,其特征在于,所述第一功率金属敷层上与所述第一控制端子对应的位置设有第一发射极信号端子。
7.如权利要求1所述的功率半导体模块衬底,其特征在于,所述晶体管芯片设有控制电极,所述第二辅助金属敷层通过所述晶体管芯片的控制电极与所述第五开关组、第六开关组、第七开关组和第八开关组信号连接。
8.如权利要求7所述的功率半导体模块衬底,其特征在于,所述第二辅助金属敷层上设有第二栅极信号端子,所述第五开关组和所述第六开关组的晶体管芯片的控制电极分别相对设置,所述第七开关组和第八开关组的晶体管芯片的控制电极分别相对设置;所述第六开关组的晶体管芯片的控制电极与所述第五开关组的晶体管芯片的控制电极连接后与所述第二辅助金属敷层信号连接,所述第八开关组的晶体管芯片的控制电极与所述第七开关组的晶体管芯片的控制电极连接后与所述第一辅助金属敷层信号连接。
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