[发明专利]双激光干涉非接触厚度测量仪在审
| 申请号： | 201810572113.7 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110553593A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 武杰;武毓钦 | 申请（专利权）人： | 南京杰晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211122 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图像传感器CCD 被检测物体 非接触测量 激光干涉仪 分光棱镜 高低调节 光学探头 交叉导轨 实时动态 激光器 干涉仪 光栅尺 偏振片 准直镜 精密 检测 | ||
【权利要求书】：
1.双激光干涉非接触厚度测量仪，其特征在于、对表面反光的材料都可以测量其厚度，仪器包括两个激光干涉仪分别在被测物体的正上方和正下方，PCS分光棱镜、图像传感器CCD、偏振片、准直镜、光学探头，光栅尺、测量厚度用的精密调整架。
2.根据权利要求1的所述的双激光干涉非接触厚度测量仪，其特征在于测量厚度用的精密调整架，包括一个精密微调架、一套高精度光栅尺。
3.根据权利要求1的所述的双激光干涉非接触厚度测量仪，其特征在于PCS分光棱镜、偏振片。
步骤1、将上下两个光学探头对准，两个干涉图像同时出现干涉直线条纹，把光栅尺数显表归零。
步骤2、把被测表面反光材料放在上下两个激光干涉仪中间的沉座上，通过调整沉座的高低使下方激光干涉仪的光学探头焦点落在被检测物体的下表面，并产生干涉猫眼像。
步骤3、通过调整上部光学探头使其焦点落在被测反光物体的上表面并产生干涉猫眼像，这时光栅尺数显表上显示的读数就是被测物体的厚度。
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