[发明专利]陶瓷电容式压力传感器及提高压力检测精度的方法

权利要求书

1.一种陶瓷电容式压力传感器，包括基座(6)、固定电极(1)和可变电极(2)，基座(6)一端设有球面凹槽(61)，固定电极(1)固定连接在球面凹槽(61)表面，固定电极(1)和可变电极(2)之间形成电容容室(3)；其特征是：

球面凹槽(61)表面固定连接有热敏陶瓷温度传感器(10)，热敏陶瓷温度传感器(10)嵌入在基座(6)内且靠近固定电极(1)的一面为球面，热敏陶瓷温度传感器(10)的球面直径与球面凹槽(61)的球面直径相同，热敏陶瓷温度传感器(10)的球面与球面凹槽(61)的球面相对齐，固定电极(1)表面与热敏陶瓷温度传感器(10)相紧密抵接；

基座(6)中心开设有通气孔(62)，通气孔(62)穿过热敏陶瓷温度传感器(10)将电容容室(3)与外部大气相连通。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征是：陶瓷电容式压力传感器还包括固定连接在所述通气孔(62)内的吸附件。

3.根据权利要求2所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征是：所述吸附件为活性炭(102)。

4.根据权利要求2所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征是：陶瓷电容式压力传感器还包括固定连接在所述通气孔(62)内的湿度传感器(103)，湿度传感器(103)位于所述吸附件靠近所述电容容室(3)的一侧。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征是：所述固定电极(1)靠近所述可变电极(2)的一面固定连接有绝缘层。

6.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征是：所述可变电极(2)远离所述固定电极(1)的一面固定连接有敏感膜片(4)。

7.根据权利要求6所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征是：所述敏感膜片(4)远离所述可变电极(2)的一面固定连接有屏蔽层(9)。

8.根据权利要求1至7任一项所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征是：所述基座(6)由热的不良导体材质制成。

9.提高压力检测精度的方法，采用权利要求1至8中任意一种陶瓷电容式压力传感器，其特征是：将所述固定电极(1)、所述可变电极(2)和所述热敏陶瓷温度传感器(10)与电脑(105)相连接，通过电脑(105)计算所述固定电极(1)的温度值计算出温度使固定电极(1)和可变电极(2)之间距离产生的变化来计算出温度使电容容室(3)电容值产生的变化量从而对测得的压力值进行计算和补偿。

10.根据权利要求9所述的提高压力检测精度的方法，其特征是：将如权利要求4中的湿度传感器(103)与电脑(105)相连接，通过电脑(105)对湿度传感器(103)感测的湿度数据进行计算得到所述固定电极(1)和所述可变电极(2)之间介电常数值来计算出湿度使电容容室(3)电容值产生的变化量从而对测得的压力值进行计算和补偿。