[发明专利]背钝化晶体硅片的返工处理方法、太阳能电池及制备方法

权利要求书

1.一种背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

在背钝化晶体硅片表面沉积第一层钝化膜之后，判断此时钝化膜的材质类型以及其是否为异常膜；

当所述第一层钝化膜为二氧化硅钝化膜且所述第一层钝化膜为异常膜时，将所述背钝化晶体硅片置于氢氟酸水溶液中进行酸洗，所述氢氟酸水溶液的质量浓度为8％-10％；

当所述第一层钝化膜为氧化铝钝化膜且所述第一层钝化膜为异常膜时，将所述背钝化晶体硅片置于盐酸水溶液中进行酸洗；

当所述第一层钝化膜为非异常膜时，继续沉积，使得所述背钝化晶体硅片表面上的膜为二氧化硅和氮化硅组成的复合钝化膜、氧化铝和氮化硅组成的复合钝化膜、二氧化硅和氧化铝及氮化硅组成的复合钝化膜中的其中一种，判断此时的复合钝化膜是否为异常膜；当其中一层膜为异常膜时，将所述背钝化晶体硅片置于盐酸和氢氟酸组成的混酸水溶液中进行酸洗，所述混酸水溶液采用质量浓度为8％-10％盐酸水溶液和质量浓度为8％-10％氢氟酸水溶液按照质量比为2:1-1:1的比例配置而成；

将酸洗后的所述背钝化晶体硅片用纯水清洗；

将纯水清洗后的所述背钝化晶体硅片进行太阳能电池的制程处理；

其中，所述异常膜是指存在油斑、手印斑、白斑以及焦斑中至少一种斑痕的钝化膜。

2.根据权利要求1所述的背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，当所述第一层钝化膜为氧化铝钝化膜且所述第一层钝化膜为异常膜时，用于酸洗的所述盐酸水溶液的质量浓度为8％-10％。

3.根据权利要求1所述的背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述盐酸水溶液的酸洗时间为3min-5min。

4.根据权利要求1所述的背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述氢氟酸水溶液的酸洗时间为3min-5min。

5.根据权利要求1所述的背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述混酸水溶液的酸洗时间为10min-12min。

6.根据权利要求1所述的背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，纯水清洗的时间为1min-3min。

7.根据权利要求1～6任一项所述的背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制程处理包括：对所述背钝化晶体硅片依次进行干燥、制绒、扩散、刻蚀、PECVD法镀膜、印刷以及烧结。

8.根据权利要求7所述的背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述干燥的方式为甩干。

9.根据权利要求7所述的背钝化晶硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，经过所述扩散处理后的硅片方块电阻为60-90Ω/sq。

10.一种背钝化晶硅太阳能电池，其特征在于，所述背钝化晶硅太阳能电池用权利要求1-9任一项所述的制备方法制备。