[发明专利]一种纸基柔性湿度传感器的制备方法

权利要求书

1.一种纸基柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，该方法包括以下具体步骤：

步骤1：选择玻璃载玻片作为衬底，先后使用丙酮、乙醇和去离子水超声清洗衬底5-10分钟，然后放入60-100℃的烘箱烘干，将纸质基底平整地粘附在清洗干净的玻璃载玻片上；

步骤2：利用甩胶机均匀旋涂一层厚度为20~30um、质量比为15wt%的聚酰胺酸PAA置于纸质基底上；将旋涂后纸质基底的玻璃载玻片置于60-100℃的加热台上，恒温加热40-60分钟使旋涂聚酰胺酸PAA固化，然后置于室温下降至室温；

步骤3：将降温之后所得的纸质基底的玻璃载玻片浸泡在0.02mol/L 硝酸银溶液中15-30分钟，然后置于浓度为8~10mmol/L的还原剂中，使之析出银层；得到原位生长的银薄膜；

步骤4：使用喷墨打印机将所需叉指电路图形打印到大小为A4的菲林片上，以此作为光刻掩膜板；

步骤5：在步骤3所得银薄膜上平整的贴附一层感光蓝膜，使之平整无气泡；

步骤6：在感光蓝膜上附上留有叉指电极图形的掩膜版进行掩膜光刻，掩膜光刻采用UV法进行；

步骤7：光刻之后放入显影液去掉叉指电极图形以外的蓝膜；

步骤8：将显影后的样品进行刻蚀，刻蚀暴露出来的银层；

步骤9：将刻蚀后的样品放入丙酮溶液中进行脱膜，得到纸质基底上的银层图形化叉指电极，纸质基底和旋涂其上的PAA以及叉指电极构成纸基柔性湿度传感器；其中，所述纸质基底为化学分析滤纸。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述还原剂为过氧化氢或硼氢化钠溶液。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述显影液为pH=12的氢氧化钠溶液。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述刻蚀剂为6M的过氧化氢溶液。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述脱膜溶液为丙酮分析纯。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所制得的纸基湿度传感器，利用了纸质基底和PAA构成的复合结构的吸湿特性，实现了对相对湿度范围为15%-95%的高灵敏感测。