[发明专利]一种光刻掩模板系统

权利要求书

1.一种光刻掩模板系统(100)，其包括：

掩模板(104)，

安装在掩模板(104)前的第一防尘薄膜(112)，以及

安装在第一防尘薄膜(112)前的第二防尘薄膜(122)，

其中，第一防尘薄膜(112)设置在掩模板(104)和第二防尘薄膜(122)之间，并且

其中，第二防尘薄膜(122)相对于第一防尘薄膜(112)和掩模板(104)可拆卸地安装。

2.如权利要求1所述的系统，所述系统还包括：支撑第一防尘薄膜(112)的第一防尘薄膜框(114)，第一防尘薄膜框(114)安装在掩模板(102)上。

3.如权利要求1所述的系统，所述系统还包括：支撑第二防尘薄膜(122)的第二防尘薄膜框(124)，第二防尘薄膜框(124)相对于第一防尘薄膜(112)和掩模板(104)可拆卸地安装。

4.如权利要求3所述的系统，所述系统还包括：掩模板载体(102)，其中，掩模板(104)设置在掩模板载体(102)上，并且第二防尘薄膜框(124)相对于掩模板载体(102)可拆卸地安装于其上。

5.如权利要求3所述的系统，其特征在于，第二防尘薄膜框(124)相对于支撑第一防尘薄膜(112)的第一防尘薄膜框(114)可拆卸地安装于其上。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，第二防尘薄膜框(124)设置为与第一防尘薄膜框(114)的外侧壁表面邻接。

7.如权利要求5所述的系统，其特征在于，第二防尘薄膜框(124)设置在第一防尘薄膜框(114)的顶部表面上。

8.如权利要求3至7中任一项所述的系统，其特征在于，第二防尘薄膜框(124)包括适用于与第一防尘薄膜框(114)的机械耦合元件(129)或支撑掩模板(104)的掩模板载体(102)的机械耦合元件(129)进行可拆卸衔接的机械耦合元件(129)。

9.如权利要求3至7中任一项所述的系统，其特征在于，第二防尘薄膜框(124)包括适用于与第一防尘薄膜框(114)的磁性耦合元件(129)或与适用于支撑掩模板(104)的掩模板载体(102)的磁性耦合元件(129)进行磁性耦合的磁性耦合元件(129)。

10.如前述权利要求中任一项所述的系统，其特征在于，第二防尘薄膜框(124)包括气体进口(126)。

11.根据前述权利要求中任一项所述的系统，其特征在于，第一防尘薄膜(112)和第二防尘薄膜(122)间隔一定距离。

12.一种光刻曝露工具(200)，其包括：

光源(206)，

基材载体(202)，

如前述权利要求任一项所述的掩模板系统(100)，以及

光学系统(210)，用于将来自光源的光经由掩模板系统的掩模板导向基材载体。

13.如权利要求12所述的光刻曝露工具，其特征在于，光源是远紫外光源。

14.一种用于交换如权利要求12至13中任一项所述的光刻曝露工具的防尘薄膜的方法，所述方法包括：

将掩模板(104)、第一防尘薄膜(112)和第二防尘薄膜(122)从光刻曝露工具(200)上卸下，

将在第一防尘薄膜(112)前的第二防尘薄膜(122)移除，其中，第一防尘薄膜(112)保留在掩模板(104)上，

将第三防尘薄膜(132)可拆卸地安装在第一防尘薄膜(112)前，以及

将掩模板(104)、第一防尘薄膜(112)和第三防尘薄膜(132)加载到光刻曝露工具(200)中。

15.一种用于在如权利要求12至13中任一项所述的光刻曝露工具内交换防尘薄膜的方法，所述方法包括：

将在第一防尘薄膜(112)前的第二防尘薄膜(122)移除，其中，第一防尘薄膜(112)保留在掩模板(104)上，以及

将第三防尘薄膜(132)可拆卸地安装在第一防尘薄膜(112)前。