[发明专利]不存在内部捕获的流体的具有端口的压力传感器

说明书

本发明涉及不存在内部捕获的流体的具有端口的压力传感器。实施例总体上涉及用例如凝胶的压力传递流体来填充压力传感器并且防止在所述压力传感器内的捕获空气的方法和系统。压力传感器可以包括基板；感测管芯，所述感测管芯安装在所述基板上；外壳，所述外壳被构造成在所述感测管芯上方附接至所述基板，其中，所述外壳包括通到所述外壳的中空内部的开口；以及凝胶材料，所述凝胶材料被构造成填充所述外壳的中空内部并且覆盖所述感测管芯，其中，所述外壳包括多个有特定形状的壁，所述有特定形状的壁被构造成在所述凝胶材料填充所述外壳的中空内部时引导所述凝胶材料。

背景技术

传感器常用于感测环境参数，例如，压力、温度、湿度、流量、导热系数、气体浓度、光、磁场、电场、以及许多其它环境参数。这样的传感器用于多种多样的应用，包括例如医疗应用、飞行控制应用、工业过程应用、燃烧控制应用、天气监测应用、水计量应用、以及许多其它应用。

发明内容

在实施例中，压力传感器可以包括基板；感测管芯，所述感测管芯安装在所述基板上；外壳，所述外壳被构造成在所述感测管芯上方附接至所述基板，其中，所述外壳包括通到所述外壳的中空内部的开口；以及凝胶材料，所述凝胶材料被构造成填充所述外壳的中空内部并且覆盖所述感测管芯，其中，所述外壳包括多个有特定形状的壁，所述有特定形状的壁被构造成在所述凝胶材料填充所述外壳的中空内部时引导所述凝胶材料。

在实施例中，用于形成压力传感器的方法可以包括：形成外壳，其中，所述外壳包括中空内部、通到所述中空内部的开口、基部部分、以及在所述基部部分与所述开口之间的一个或多个成角度的壁；将所述外壳的基部部分附接至基板，其中，所述外壳的中空内部覆盖附接至所述基板的感测管芯；用凝胶填充所述外壳的中空内部，其中，所述凝胶经由所述开口从所述基部部分被填充至所述开口的边沿；以及在所述凝胶的填充期间，经由所述一个或多个成角度的壁朝向所述开口引导在所述中空内部内的空气，其中，在填充所述外壳时，所述一个或多个成角度的壁防止捕获空气。

在实施例中，压力传感器可以包括基板；感测管芯，所述感测管芯安装在所述基板上；以及中空外壳，所述中空外壳被构造成覆盖所述感测管芯，其中，所述外壳包括端口部分、中间部分和基部部分，其中，所述端口部分包括通到所述外壳的中空内部的开口，其中，所述基部部分固定到所述基板，其中，所述中间部分将所述基部部分与所述端口部分连接，并且其中，所述中间部分包括内壁，所述内壁的轮廓是向上倾斜的曲线。

附图说明

为了更完全地理解本公开，现在参考以下结合附图和具体实施方式进行的简要描述，其中，相同的参考标记表示相似的部分。

图1示出了根据本公开的实施例的压力传感器的透视图。

图2示出了根据本公开的实施例的压力传感器的剖视图。

图3示出了根据本公开的实施例的与压力传感器一起使用的外壳的透视图。

图4示出了根据本公开的实施例的与压力传感器一起使用的外壳的顶视图。

图5A至图5B示出了根据本公开的实施例的与压力传感器一起使用的外壳的剖视图。

具体实施方式

在一开始就应当理解的是，虽然在下文示出了一个或多个实施例的说明性实施方式，但是可以使用多种技术来实施所公开的系统和方法，无论所述技术是目前已知的还是尚不存在的。本公开决不应当被限制于下文示出的说明性实施方式、附图和技术，而是可以在所附权利要求的范围以及其等同物的全部范围内被修改。

术语的以下简短定义适用于整个申请：

术语“包括”指包括但不限于，并且应当以其通常被用于专利上下文中的方式来解释；