[发明专利]基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法

说明书

本发明提供基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法。基板检查装置用于检查形成有透明电极(13)和第一连接电极(14)的触摸面板(100)，第一连接电极(14)以在厚度方向上与透明电极(13)重叠的方式与透明电极(13)接合，基板检查装置包括：检测电极(31)，在透明电极(13)与第一连接电极(14)的接合部中的比第一连接电极(14)靠透明电极(13)侧的位置处与接合部相对配置；检测电极(21)，在接合部中的比透明电极(13)靠第一连接电极(14)侧的位置处与接合部相对配置；电流供给部(4)，向接合部供给电流；以及电压检测部(5)，对检测电极(31)与检测电极(21)之间的电位差进行检测。

技术领域

本发明涉及一种检查基板的基板检查装置、用于该基板检查装置的检查辅具以及基板检查方法。

背景技术

近年来，随着以智能手机或平板电脑为代表的电子设备的急速普及，检测人的手指或手写笔触摸到的位置的触摸面板的需求尤其高涨。作为这样的触摸面板，已知有电阻膜方式的触摸面板，该电阻膜方式的触摸面板将两张电阻膜相对配置而配置于触摸面，并根据用户触摸到触摸面时的电阻值而检测触摸位置。

另一方面，近年来广泛使用静电电容方式的触摸面板，该静电电容方式的触摸面板将呈格子状配置的透明电极配置于触摸面，并根据用户用手指触摸到面板时产生的静电电容而检测触摸位置。静电电容方式的触摸面板在面板表面上设定有X-Y的二维坐标，并且以与X-Y坐标对应的方式，将沿X方向延伸的多个透明电极和沿Y方向延伸的多个透明电极相互绝缘地对置配置在例如玻璃等透明基板上。

作为这样的静电电容式触摸面板的检查方法，已知有使触摸探针代替人的手指而接触沿X方向、Y方向延伸的传感器电极而测量与传感器电极连接的引线的电位的检查方法(例如，参照专利文献1。)。

专利文献1：日本特开2011-90358号公报

然而，在如上述的接合传感器电极与引线的情况下，若接合部位的接合状态不充分，则有时在该接合部分产生电阻值。但是，在接合部分产生的接合电阻比传感器电极的电阻值小。因此，在专利文献1中记载的技术中，因接合不良而产生的接合电阻比正常时的传感器电极整体的电阻值小，不容易检测其不良。

并不限于静电电容方式，即使是电阻膜方式的触摸面板或其他装置，也有可能与具有导电材料的接合部分的情况相同地产生这样的接合部的不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种容易检测导电材料的接合部分的不良的基板检查装置、用于该基板检查装置的检查辅具以及基板检查方法。

本发明所涉及的基板检查装置用于检查形成有导电性的第一主电极和导电性的第一连接电极的基板，所述第一连接电极以在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述基板检查装置包括：第一检测电极，其在所述第一主电极与所述第一连接电极的接合部中的比所述第一连接电极靠所述第一主电极侧的位置处与所述接合部相对配置；第二检测电极，其在所述接合部中的比所述第一主电极靠所述第一连接电极侧的位置处与所述接合部相对配置；电流供给部，其向所述接合部供给电流；以及电压检测部，其对所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的电位差进行检测。

本发明所涉及的基板检查方法用于检查形成有导电性的第一主电极和导电性的第一连接电极的基板，所述第一连接电极以在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述基板检查方法包含：第一检测电极配置工序，使第一检测电极在所述第一主电极与所述第一连接电极的接合部中的比所述第一连接电极靠所述第一主电极侧的位置处与所述接合部相对配置；第二检测电极配置工序，使第二检测电极在所述接合部中的比所述第一主电极靠所述第一连接电极侧的位置处与所述接合部相对配置；电流供给工序，向所述接合部供给电流；以及电压检测工序，对所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的电位差进行检测。