[发明专利]一种氢原子钝化方法及氢原子钝化装置

说明书

本发明公开了一种氢原子钝化方法，在将待钝化材料置于腔室中后，会通过预设的过滤板对包括有氢原子的第一混合体进行过滤，过滤所得的第二混合体中的氢原子浓度需要高于预先生成的第一混合体中氢原子浓度。之后在通过第二混合体对待钝化材料进行钝化，由于氢原子可以有效的与待钝化材料中的悬挂键、结构缺陷等复合中心相结合，从而减少待钝化材料中的复合中心的数量，增强待钝化材料的钝化效果。同时通过过滤板将第一混合体过滤成第二混合体时，可以有效降低其扩散时的移动速度，从而有效减少第二混合体对待钝化材料表面的轰击效果，增加对待钝化材料的钝化效果。本发明还提供了一种氢原子钝化装置，同样具有上述有益效果。

技术领域

本发明涉及太阳能制造领域，特别是涉及一种氢原子钝化方法及氢原子钝化装置。

背景技术

随着近年来科技不断的进步以及发展，清洁能源的开发与应用变得越来越重要，太阳能作为一种典型的清洁能源，在推进改善全球能源结构中起到了关键作用。其中，光伏发电作为利用太阳能资源最有效的方式变得越来越受到人们的重视。

在现阶段，太阳能电池的效率高低主要取决于两个方面，一方面是光学损失，而另一方面是电学损失。其中电学损失主要受制于太阳能电池体内或表面复合中心的影响，太阳能电池中多子与少子会在复合中心处发生复合，从而降低少子的寿命。具体的，复合越多，太阳能电池少子寿命越低，太阳能电池效率也就越低；相反地复合越少，太阳能电池少子寿命越高，太阳能电池效率也就越高。

在现有技术中，通常是在太阳能电池表面设置钝化层以此来减少太阳能电池表面复合的速度。但是在现有技术中，设置钝化层并不能有效减少太阳能电池中复合中心的数量，同时在钝化层中同样存在有复合中心，使得设置钝化层对太阳能电池的钝化效果并不能达到最优效果。

发明内容

本发明的目的是提供一种氢原子钝化方法，可以有效减少待钝化材料中复合中心的数量；本发明的另一目的在于提供一种氢原子钝化装置，可以有效减少待钝化材料中复合中心的数量。

为解决上述技术问题，本发明提供一种氢原子钝化方法，所述方法包括：

将待钝化材料置于设置有过滤板的腔室中；其中，所述过滤板至少对氢原子具有透过性；

在所述腔室中通过所述过滤板对包括氢原子的第一混合体进行过滤，以形成包括氢原子的第二混合体；其中，所述第二混合体中氢原子浓度高于所述第一混合体中氢原子浓度；

利用所述第二混合体对所述待钝化材料进行钝化。

可选的，所述在所述腔室中通过所述过滤板对包括氢原子的第一混合体进行过滤，以形成包括氢原子的第二混合体包括：

向所述腔室中通入氢源；

电离所述氢源以生成所述第一混合体；其中，所述第一混合体为混合等离子体；

在所述腔室中通过所述过滤板对所述第一混合体进行过滤，以在所述过滤板一侧形成所述第二混合体。

可选的，所述氢源为氨气和/或氢气。

可选的，所述过滤板为钯板。

可选的，所述钯板与所述第二混合体相接触的表面设置有硫化钯层。

可选的，所述硫化钯层为预先在所述钯板与所述第二混合体相接触的表面通过硫化氢进行硫化所形成的所述硫化钯层。

可选的，所述钯板与所述第一混合体相接触的表面为清洁表面。

本发明还提供了一种氢原子钝化装置，所述钝化装置包括：

外壳体；

设置于所述外壳体内，用于放置待钝化材料的载物平台；