[发明专利]补料装置及蒸镀设备

权利要求书

1.一种补料装置，其特征在于，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，所述坩埚设于真空反应室内，所述喂线机构安装在所述真空反应室的内壁上，所述喂线机构向所述坩埚输送线型材料，所述线型材料在所述坩埚内被熔融为液体并蒸发，所述压力感应器用于检测所述坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至所述控制件，所述控制件根据预设模式控制所述喂线机构的喂线速度，以使所述坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内；

所述压力感应器设置于所述坩埚下，所述压力感应器与所述坩埚之间还设有隔热板；

所述坩埚与所述压力感应器之间还设有导向柱，所述隔热板包括第一隔热板和第二隔热板，所述第一隔热板设置于所述坩埚和所述导向柱之间，所述第二隔热板设置于所述导向柱与所述压力感应器之间，所述第二隔热板与所述压力感应器之间通过立柱连接，所述导向柱用于将所述坩埚的重量全部传递至第二隔热板，并经所述立柱传递至所述压力感应器。

2.如权利要求1所述的补料装置，其特征在于，还设有冷却立板和环板，所述冷却立板顶部设置有所述环板，所述环板围绕所述导向柱设置，以使所述导向柱在所述环板的限位下上下移动，所述冷却立板内设有液流管路，冷却液体在所述液流管路内循环流动，以进行散热。

3.如权利要求2所述的补料装置，其特征在于，还设有保温立板，所述保温立板围绕在所述第一隔热板至所述冷却立板的外周，以减少所述冷却立板的温度散失，以使所述冷却立板用于加热液体。

4.如权利要求2所述的补料装置，其特征在于，所述冷却立板上还设有支撑板，所述支撑板上设有缓冲弹簧，所述立柱穿设于所述支撑板和所述缓冲弹簧内，所述缓冲弹簧用于承载所述坩埚突变的载荷，以使所述压力感应器受到的冲击减小。

5.如权利要求1所述的补料装置，其特征在于，所述真空反应室的内壁上还设有监视器，所述监视器对准所述坩埚内的液面位置，所述坩埚上还设有液面刻度，所述监视器将监视到的坩埚液面的画面信息输送至所述控制件，所述控制件根据所述坩埚液面的刻度控制所述喂线机构的喂线速度。

6.如权利要求5所述的补料装置，其特征在于，所述真空反应室的内壁上还设有调节挡板，所述调节挡板包围所述监视器，所述控制件根据预设模式控制所述调节挡板打开，以使所述监视器监视所述坩埚。

7.如权利要求1至6任一所述的补料装置，其特征在于，还包括显示器，所述显示器用于显示所述控制件的工作参数。

8.一种蒸镀设备，其特征在于，包括真空反应室和权利要求1至7任一项权利要求所述的补料装置，所述补料装置的坩埚、喂线机构和压力感应器设置于所述真空反应室内。