[发明专利]膜厚检测装置及蒸镀机

说明书

本发明提供一种膜厚检测装置，用于在基板蒸镀时检测所述基板的蒸镀速率，包括蒸镀源、膜厚检测器、调节部、气体管道与加热部，所述蒸镀源具有喷嘴，在第一方向上所述喷嘴、所述气体管道、所述调节部以及所述膜厚检测器依次排列，所述喷嘴与所述气体管道的进料口连通，所述调节部可绕固定轴旋转，且所述调节部中设有数个间隔设置的通孔，所述加热部围绕所述气体管道外周设置，进而从所述喷嘴中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道时保持气态，并经所述通孔蒸镀于所述膜厚检测器上。本发明解决了蒸镀材料对通孔的堵塞导致的生产效率低的技术问题。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种膜厚检测装置及蒸镀机。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器，也称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平板显示装置，由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快，而且易于实现彩色显示和大屏幕显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点，因而具有广阔的应用前景。

目前OLED的主流制备方法是蒸镀法，即在OLED蒸镀机的腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在基板上。通常，OLED蒸镀机的腔体内都设有膜厚监控仪(Thickness Monitor)，所述膜厚监控仪包括壳体、设于壳体内的转盘、膜厚监测传感器(sensor)，所述转盘上设有通孔，所述膜厚监控仪使用时，所述数个膜厚监测传感器中的一个移至该通孔处。蒸镀时，真空OLED蒸镀机的腔体内的有机小分子材料挥发至该通孔，并沉积于膜厚监测传感器的表面，所述膜厚监测传感器通过监测自身表面的膜厚经过换算后得出镀在基板表面的膜厚。但是在设备调试及生产过程中发现转盘的通孔容易被蒸镀材料堵塞，导致无法检测镀膜速率，需要执行降温、开腔、清洁、升温、Tooling的动作后才能继续生产，影响生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种膜厚检测装置及蒸镀机，以解决蒸镀材料对通孔的堵塞导致的生产效率低的技术问题。

本发明提供一种膜厚检测装置，用于在基板蒸镀时检测所述基板的蒸镀速率，包括蒸镀源、膜厚检测器、调节部、气体管道与加热部，所述蒸镀源具有喷嘴，在第一方向上所述喷嘴、所述气体管道、所述调节部以及所述膜厚检测器依次排列，所述喷嘴与所述气体管道的进料口连通，所述调节部可绕固定轴旋转，且所述调节部中设有数个间隔设置的通孔，所述加热部围绕所述气体管道外周设置，进而从所述喷嘴中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道时保持气态，并经所述通孔蒸镀于所述膜厚检测器上。

其中，所述气体管道可在其轴线方向上振动。

其中，数个所述通孔围绕所述调节部的中心沿着径向间隔设置形成一调节区，所述气体管道的出料口与所述膜厚检测器均对准所述调节区。

其中，所述加热部为加热丝，所述加热丝缠绕所述气体管道。

其中，所述加热部为加热棒，所述加热棒为数个，且围成一个加热腔，所述气体管道置于所述加热腔中。

其中，所述气体管道为空心圆筒，所述空心圆筒包括所述进料口与所述出料口，所述进料口的直径等于所述出料口的直径。

其中，所述气体管道为空心圆台，所述空心圆台包括所述进料口与所述出料口，所述进料口的直径小于所述出料口的直径。

其中，所述膜厚检测器可自动切换，以使其中一个所述膜厚检测器达到蒸镀上限时，另一个所述膜厚检测器可自动切换蒸镀。

其中，所述膜厚检测装置包括驱动件，所述驱动件驱动所述调节部转动以及驱动所述气体管道振动。

本发明提供一种蒸镀机，包括上述的膜厚检测装置。