[发明专利]清洗使用过的靶材的方法、靶材的制造方法、再循环铸锭的制造方法及再循环铸锭在审
| 申请号： | 201810266212.2 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108690957A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 西冈宏司;塚田洋行 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 溅射靶 再循环 铸锭 清洗 支承构件 制造 接合材料 碱处理 结合面 酸处理 溅射 金属 | ||
【权利要求书】：
1.清洗溅射靶的靶材的方法，其是对在溅射中使用后的溅射靶的靶材进行清洗的方法，所述溅射靶是用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的，所述方法包括：
将所述靶材从所述溅射靶分离的工序；以及
将由所述工序得到的靶材的与所述支承构件的结合面用酸处理后、进一步用碱处理的工序。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述金属为铝。
3.靶材的制造方法，所述方法包括利用权利要求1或2所述的方法清洗靶材的工序。
4.再循环铸锭的制造方法，所述方法包括对利用权利要求1或2所述的方法进行了清洗的靶材进行铸造的工序。
5.再循环铸锭，所述再循环铸锭来自用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的溅射靶的靶材，
所述再循环铸锭包含铝作为主成分，来自所述接合材料和所述支承构件的元素的总量以重量基准计低于10ppm。
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