[发明专利]微粒制造装置以及微粒制造方法

权利要求书

1.一种微粒制造装置，具有：

真空室；

材料供给装置，与所述真空室的一端侧连接，将材料的粒子从材料供给口向所述真空室内供给；

多个电极，被配置于所述真空室的中间部，分别被施加相位相互不同的交流电力在所述真空室内产生等离子体；和

回收装置，与所述真空室的另一端连接并回收微粒，

所述微粒制造装置在所述真空室内产生等离子体，从所述材料的粒子制造所述微粒，

在所述真空室的中间部具有：材料供给口侧的第1电极配置区域、和向回收装置侧与所述第1电极配置区域分离的第2电极配置区域，所述第1电极配置区域以及所述第2电极配置区域在从所述材料供给口的附近到所述回收装置之间分别相对于所述材料流动的方向交叉，在所述第1电极配置区域与所述第2电极配置区域分别配置多根所述电极并构成为多级，

配置于所述第1电极配置区域的所述电极的倾斜角度比配置于所述第2电极配置区域的所述电极的倾斜角度大，

由配置于所述第2电极配置区域的多个所述电极的前端彼此形成的圆的直径比由配置于所述第1电极配置区域的多个所述电极的前端彼此形成的圆的直径大。

2.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，

所述真空室内的侧壁的内表面被隔热部件覆盖，所述隔热部件的构造为：上部电极附近的内壁的直径即所述回收装置侧的电极设置场所的内侧的直径比下部电极附近的内壁的直径即所述材料供给口的附近的电极设置场所的内侧的直径小。

3.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，

所述微粒制造装置具有：放电气体供给管，能够从配置在比所述材料供给口更靠所述真空室的下部侧的开口供给放电气体从而向所述电极附近供给涡流。

4.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，

在所述多根电极分别连接交流电源，从所述交流电源向所述多根电极分别施加相位相互不同的交流电力，在所述真空室内生成电弧放电来作为所述等离子体。

5.一种微粒制造方法，在真空室的中间部具有：材料供给口侧的第1电极配置区域、和向回收装置侧与所述第1电极配置区域分离的第2电极配置区域，所述第1电极配置区域以及所述第2电极配置区域在所述真空室的放电气体内在从材料供给口的附近到微粒回收装置之间分别相对于材料粒子流动的方向交叉，配置于所述第1电极配置区域的电极的倾斜角度比配置于所述第2电极配置区域的电极的倾斜角度大，并且向分别在所述第1电极配置区域和所述第2电极配置区域配置多根并构成为多级的所述电极，分别施加相位相互不同的交流电力，从而生成热等离子体，

从材料供给装置的材料供给口向所述热等离子体的区域内供给所述材料粒子，

所述材料粒子通过所述热等离子体的所述区域中时，蒸发或者气化从而成为材料气体，进一步地，在所述材料气体从所述热等离子体的所述区域脱离的瞬间，所述材料气体急剧冷却而生成微粒，

由配置于所述第2电极配置区域的多个所述电极的前端彼此形成的圆的直径比由配置于所述第1电极配置区域的多个所述电极的前端彼此形成的圆的直径大。

6.根据权利要求5所述的微粒制造方法，其中，

所述热等离子体是从交流电源分别向所述多根电极供给相位相互不同的电力、从而使其脉冲式放电的电弧放电。

7.根据权利要求5所述的微粒制造方法，其中，

所述热等离子体是通过在材料流动的方向上并列配置为2级以上的电极来生成的电弧放电，是向所述材料流动的方向纵长的放电或者高温区域是纵长的。

8.根据权利要求5所述的微粒制造方法，其中，

从配置在比所述材料供给口更靠所述真空室的下部侧的开口供给放电气体，在所述电极附近形成涡流。