[发明专利]精密掩膜板的制作方法有效
| 申请号： | 201810199983.4 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108179381B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 陈海涛 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精密 掩膜板 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种精密掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：
提供掩膜基板；
对所述掩膜基板进行全刻蚀，形成具有第一开孔图案的第一区域和具有第二开孔图案的第二区域；所述第二区域与所述第一区域的至少一侧连接；以及
对所述第二区域内的开孔进行堵孔以形成非显示区，并将所述第一区域作为显示区；
其中，在对所述第二区域的开孔进行堵孔时，是利用金属胶对所述第二区域内的开孔进行堵孔，形成的金属胶位于所述掩膜基板的两个平面之间，所述金属胶的延展性大于或等于所述掩膜基板的材质的延展性，所述金属胶的熔点高于所述精密掩膜板的蒸镀温度。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在对所述掩膜基板进行全刻蚀时，是对所述掩膜基板进行双面刻蚀。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，形成所述第一开孔图案的图案单元与形成所述第二开孔图案的图案单元相同。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
对所述第二区域内的堵孔状况进行检测；以及
在检测到所述金属胶上的任一点所在的平面超过所述掩膜基板的表面时，去除所述金属胶，重新对所述第二区域内的开孔进行堵孔。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在去除所述金属胶时，通过激光将所述金属胶去除。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述掩膜基板的材料为合金。
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