[发明专利]一种基于相干图像反馈的数字光成型方法

权利要求书

1.一种基于相干图像反馈的数字光成型方法，其特征在于方法步骤是：

在数字光成型系统曝光制作时，精缩透镜将SLM调制的数字掩模精缩成像在基底上，同时一束激光通过分束器均分为两束相干光源，其中一束光经反射镜反射进入探测干涉信号的CCD，另一束经涂覆光刻胶的基底反射后也进入探测干涉信号的CCD，调整经反射镜直接反射进入CCD的光束的光程，使得这两束光在CCD表面形成稳定的干涉图形；

在曝光制作时，随着曝光剂量的吸收光刻胶会发生化学性质变化，使得光刻胶的折射率改变，因此干涉图形会随着光刻胶折射率的变化而产生形变，通过CCD实时将监测到的干涉图形传输到软件系统进行光刻胶接受曝光剂量的反馈计算，从而监测已经曝光的深度，为曝光系统是否离焦提供在线检测依据，即为数字光成型系统的自动调焦提供反馈依据，使得光成型系统的调焦系统形成闭环调节，进一步实现对大纵深复杂微结构的精细数字光成型。

2.根据权利要求1所述的一种基于相干图像反馈的数字光成型方法，其特征在于：所述激光是由激光器发出后经扩束、准直的连续激光，激光波长选取CCD接收波段中，光刻胶不敏感的长波。

3.根据权利要求1所述的一种基于相干图像反馈的数字光成型方法，其特征在于：探测干涉信号的CCD可进一步的扩展为利用CMOS进行干涉信号探测。