[发明专利]一种用于硅片清洗的机械手

权利要求书

1.一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，该机械手包括基座（1）、夹具机头、升降驱动机构、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述基座侧移驱动机构设在基座（1）的侧面，所述升降驱动机构的下端与基座（1）连接，所述夹具机头设在升降驱动机构的顶部，所述夹具机头包括机座（21）、第一驱动块（22）、第二驱动块（23）、第一连接杆（24）、第二连接杆（25）、机头驱动机构和复位机构，所述机座（21）上设有两个驱动杆穿设孔和两个连接杆穿设孔，所述两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间，所述两个驱动杆穿设孔内分别穿设有第一驱动杆（26）和第二驱动杆（27），所述第一驱动杆（26）和第二驱动杆（27）的左端分别穿设于两个驱动杆穿设孔内，所述两个夹爪分别连接在第一驱动杆（26）和第二驱动杆（27）的右端，所述两个夹爪相对设置，所述第一驱动块（22）和第二驱动块（23）分别设置在两个驱动杆穿设孔的左侧，且第一驱动块（22）与第一驱动杆（26）的左端固定连接，所述第二驱动块（23）与第二驱动杆（27）的左端固定连接，所述第一连接杆（24）和第二连接杆（25）分别穿设于两个连接杆穿设孔内，所述第一连接杆（24）和第二连接杆（25）的左端均伸出至两个连接杆穿设孔的左侧，所述第一连接杆（24）和第二连接杆（25）的左端均逐渐缩小，所述第一连接杆（24）和第二连接杆（25）的右端均与机头驱动机构连接，所述第一驱动块（22）和第二驱动块（23）均与复位机构连接，所述第一驱动块（22）上设有第一支撑件，所述第二驱动块（23）上设有第二支撑件，所述第一支撑件在复位机构的作用下压紧在第一连接杆（24）的左端，所述第二支撑件在复位机构的作用下压紧在第二连接杆（25）的左端，且第一支撑件和第二支撑件均处于第一连接杆（24）和第二连接杆（25）的同一侧，所述机头驱动机构驱动第一连接杆（24）和第二连接杆（25）分别在两个连接杆穿设孔内滑动，所述第一支撑件到第一连接杆（24）中心线的距离发生改变，所述第二支撑件到第二连接杆（25）中心线的距离发生改变，所述复位机构驱动第一驱动块（22）和第二驱动块（23）旋转，且第一驱动块（22）和第二驱动块（23）的旋转方向相反，所述第一驱动块（22）带动第一驱动杆（26）旋转，所述第二驱动块（23）带动第二驱动杆（27）旋转，且所述第一驱动杆（26）和第二驱动杆（27）的旋转方向相反，从而带动两个夹爪对硅片进行夹持或松开。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，所述机头驱动机构为驱动气缸（28），所述机座（21）内设有气缸安装室，所述驱动气缸（28）安装在气缸安装室内，所述第一连接杆（24）的右端和第二连接杆（25）的右端均通过第一连接板（29）与驱动气缸（28）连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，所述复位机构为复位弹簧（210），所述复位弹簧（210）的两端分别与第一驱动块（22）和第二驱动块（23）通过第二连接板（211）连接。