[发明专利]数字化仪及包括数字化仪的柔性显示装置

权利要求书

1.一种柔性数字化仪，其包括：

柔性基板；

第一电极，其设置在所述柔性基板上并且具有至1μm的厚度；

第一绝缘层，其设置在所述第一电极上并且具有暴露所述第一电极的通孔；以及

第二电极，其设置在所述第一绝缘层上以经由所述通孔电连接至所述第一电极并且具有至1μm的厚度，

其中，所述第一电极和所述第二电极具有3μm至30μm的线宽以及1kΩ或更小的线电阻，并且

其中，所述柔性数字化仪是电磁共振型数字化仪。

2.根据权利要求1所述的柔性数字化仪，其中，所述第一电极和所述第二电极的厚度是至

3.根据权利要求1所述的柔性数字化仪，其中，所述第一电极和所述第二电极具有3μm至10μm的线宽。

4.根据权利要求1所述的柔性数字化仪，其中，所述第一电极和所述第二电极通过溅射形成。

5.根据权利要求1所述的柔性数字化仪，其还包括设置在所述第二电极上的第二绝缘层。

6.根据权利要求1所述的柔性数字化仪，其还包括设置在所述柔性基板上的保护层，其中，所述第一电极设置在所述保护层上。

7.根据权利要求1所述的柔性数字化仪，其中，所述数字化仪的总厚度小于或等于50μm。

8.一种柔性显示装置，其包括：

根据权利要求1至7中任一项所述的数字化仪；和

设置在所述数字化仪下方的显示层。