[发明专利]硒化锌纳米空心球双层渐变折射率增透膜的制备方法

权利要求书

1.硒化锌纳米空心球双层渐变折射率增透膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)配制旋涂溶液：用热注入法合成的ZnSe纳米空心球作为底层膜层材料，旋涂溶剂使用环己烷和正己醇混合液，将ZnSe纳米空心球配成浓度为30g/L的旋涂溶液；

2)旋涂基片：将步骤1)中旋涂溶液，滴加到ZnSe基片中央，在2000rpm的转速下旋涂基片55-60s，将旋涂基片得到的单面膜层放入50-60℃烘箱中烘干15-20min，之后再在基片的另一面上进行旋涂，得到样品；

其中，两面的旋涂参数保持一致；

3)样品处理：将步骤2)得到的样品放入真空管式炉中，将管式炉抽真空至0.1-0.5Torr，然后在N₂的气氛下，进行高温退火处理，然后随炉冷却至室温，再取出样品；

4)配制二次旋涂溶液：用溶胶凝胶法合成的SiO₂纳米颗粒为模板，以SiO₂的颗粒数量与ZnSe的颗粒数量保持为1：1的比例将SiO₂加入到ZnSe纳米空心球中，使用与步骤1)中旋涂溶剂相同，制成ZnSe纳米空心球浓度为30g/L的二次旋涂溶液；

5)用步骤3)得到的样品为基底，采用步骤4)中二次旋涂溶液进行旋涂；

6)在1500rpm的转速下旋涂基片55-60s，将旋涂基片得到的单面膜层放入50-60℃烘箱中烘干15-20min，之后再在另一面上进行旋涂，得到二次旋涂后的最终样品；

其中，两面的旋涂参数保持一致；

7)将步骤6)中二次旋涂后的最终样品进行真空退火处理，退火工艺同步骤3)相同，得到退火后的最终样品；

8)将步骤7)中得到退火后的最终样品放入浓度为18-22％的HF酸中进行15-20min的刻蚀处理，然后用去离子水反复冲洗，晾干；

所述步骤1)中旋涂溶剂使用环己烷和正己醇的混合液,混合溶液中环己烷和正己醇两者体积比为4：1；

所述步骤3)中高温退火处理退火参数：升温速率10℃/min，升温至400℃，保温30min；

所述步骤1)中配置旋涂溶液时超声处理；

所述步骤4)中配置二次旋涂溶液时超声处理；

所述步骤2)和步骤6)中双面旋涂过程中对未滴加到基

片的旋凃溶液用磁子进行搅拌；

超声时间不超过3min、密闭搅拌、搅拌速度控制为200rpm。