[发明专利]超高灵敏仿生柔性纳米传感器

权利要求书

1.一种超高灵敏仿生柔性纳米传感器，其特征在于：包括柔性弹性基底（1）、导电金属薄膜层（2），导电金属薄膜层（2）上设有十字形金属薄膜裂缝，所述的裂缝位置处下方的柔性弹性基底（1）上也设有基底裂缝（8），十字形金属薄膜裂缝的交叉位置为圆形凹槽（3），圆形凹槽（3）底部位于柔性弹性基底（1）上，圆形凹槽（3）将导电金属薄膜层（2）两条裂缝分成独立的四条裂缝（4、5、6、7），所述的柔性弹性基底（1）几何尺寸为长10mm×宽10mm×厚10μm，所述的导电金属薄膜层（2）厚度为20nm， 所述的十字形金属薄膜裂缝和相应的基底裂缝总深度为40-50nm。

2.根据权利要求1所述的超高灵敏仿生柔性纳米传感器，其特征在于：柔性弹性基底（1）由紫外光固化聚氨酯丙烯酸酯制备形成。

3.根据权利要求1所述的超高灵敏仿生柔性纳米传感器，其特征在于：导电金属薄膜层（2）采用溅射沉积金属镍制成。

4.根据权利要求1所述的超高灵敏仿生柔性纳米传感器，其特征在于：十字形金属薄膜裂缝和相应的基底裂缝采用机械弯曲形成呈十字排列的两条裂缝。