[发明专利]位移检测器

权利要求书

1.一种位移检测器，所述位移检测器为电容式位移检测器，被配置为通过布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号，以基于所接收的信号检测所述检测头和标尺之间的位移，所述发送信号从布置在所述检测头中的发送电极通过布置在所述标尺中的耦合电极发送到所述接收电极，所述位移检测器包括：

相位调整单元，被配置为通过调整从所述发送信号输出单元输出的发送信号的相位而生成信号；

振幅调整单元，被配置为调整由所述相位调整单元生成的所述信号的振幅以产生串扰校正信号；以及

解调单元，被配置为对通过合成所述串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样，并被配置为解调所采样的信号。

2.如权利要求1所述的位移检测器，其中

所述相位调整单元基于预定条件通过电容分压来调整所述发送信号的电压，并且将调整电压后的发送信号进行合成以产生具有与包括在所接收的信号中的串扰的相位相反的相位的信号，并且

振幅调整单元使得由相位调整单元产生的信号的振幅与基于预定条件的串扰的振幅一致，以产生串扰校正信号。

3.如权利要求1或2所述的位移检测器，其中

所述相位调整单元包括多个第一电容器，所述多个第一电容器中的每个第一电容器的一端连接到所述振幅调整单元的输入，所述多个第一电容器中的每个第一电容器的另一端接收所述发送信号和第一控制信号，并且

响应于所述第一控制信号来控制所述多个第一电容器中的其调整电压后的发送信号要被合成的第一电容器的数量。

4.如权利要求3所述的位移检测器，其中，所述多个第一电容器的电容值彼此不同。

5.如权利要求1或2所述的位移检测器，其中

所述振幅调整单元包括多个第二电容器，并且

所述振幅调整单元被配置为能够改变所述多个第二电容器中的连接在所述解调单元和所述相位调整单元之间的所述第二电容器的数量。

6.如权利要求5所述的位移检测器，包括多个第一开关，被插在所述相位调整单元与所述多个第二电容器之间或者在所述解调单元与所述多个第二电容器之间，所述多个第一开关被配置为响应于第二控制信号而被打开和闭合，其中

所述多个第一开关中要被闭合的第一开关的数量响应于所述第二控制信号而被控制。

7.如权利要求6所述的位移检测器，其中，所述解调单元响应于采样信号对由通过合成所接收的信号和所述串扰校正信号而产生的信号进行充电的信号检测电容器的电压进行采样，并且响应于放电信号对在信号检测电容器中充电的电荷进行放电。

8.如权利要求7所述的位移检测器，包括多个第二开关，所述第二开关连接到所述多个第二电容器中的每一个第二电容器的连接到解调单元的一端和地之间，其中

所述多个第二开关响应于所述放电信号被同时打开，或者所述多个第二开关中要被闭合的所述第二开关的数量能够响应于所述第二控制信号而被控制。

9.如权利要求8所述的位移检测器，包括：

多个AND电路，所述第二控制信号被输入到所述AND电路的一端，所述采样信号被输入到所述AND电路的另一端，并且所述多个第一开关的打开和闭合分别响应于所述多个AND电路的输出信号而被控制；以及

多个OR电路，所述放电信号被输入到所述OR电路的一端，所述第二控制信号的反向信号被输入到所述OR电路的另一端，并且所述多个第二开关的打开和闭合分别响应于所述多个OR电路的输出信号而被控制。

10.如权利要求1或2所述的位移检测器，其中

所述振幅调整单元包括：

多个第三开关，响应于第三控制信号而打开和闭合，所述多个第三开关中的每一个第三开关的一端连接到所述相位调整单元的输出端；以及

多个第三电容器，所述多个第三电容器中的每一个第三电容器的一端分别连接到所述多个第三开关的另一端，并且所述多个第三电容器的另一端连接到地，

所述多个第三开关中要被闭合的第三开关的数量响应于所述第三控制信号而被控制。