[发明专利]基板导向机构、基板传送装置及湿式设备

权利要求书

1.一种基板导向机构，其特征在于，包括多组相对设置的调节边导轮(11)和固定边导轮(12)，所述调节边导轮(11)和固定边导轮(12)设置于传送中的基板(90)的两侧，用于对基板(90)的传送方向进行限位纠偏；

其中，所述调节边导轮(11)包括可移动位置的第一滚轮(111)、带动所述第一滚轮(111)在基板(90)一侧进行移动的可伸缩的弹性件(112)；

所述固定边导轮(12)包括具有固定位置的与所述第一滚轮(111)对应设置的第二滚轮(121)。

2.如权利要求1所述的基板导向机构，其特征在于，所述第一滚轮(111)在与其相对应的第二滚轮(121)的连线方向上进行移动。

3.如权利要求1所述的基板导向机构，其特征在于，所述调节边导轮(11)还包括前固定挡板(113)、后固定挡板(114)、第一轴承(115)、及第一底板(116)；所述第一轴承(115)为L型轴承；

其中，所述前固定挡板(113)和后固定挡板(114)在所述第一滚轮(111)一侧由近及远地垂直设置于所述第一底板(116)上，所述弹性件(112)设于所述前固定挡板(113)和后固定挡板(114)之间，所述第一轴承(115)一端穿过所述前固定挡板(113)伸入所述前固定挡板(113)和后固定挡板(114)之间连接所述弹性件(112)，另一端套入所述第一滚轮(111)内。

4.如权利要求3所述的基板导向机构，其特征在于，所述调节边导轮(11)还包括螺杆(117)，所述后固定挡板(114)上设有与所述螺杆(117)相适配的螺纹通孔，所述螺杆(117)的一端通过所述螺纹通孔旋入所述前固定挡板(113)和后固定挡板(114)之间并连接所述弹性件(112)，从而通过调节螺杆(117)旋入所述前固定挡板(113)和后固定挡板(114)之间的长度进而调节所述弹性件(112)伸缩时的力度。

5.如权利要求3所述的基板导向机构，其特征在于，所述调节边导轮(11)还包括设于所述前固定挡板(113)和后固定挡板(114)之间的套筒(118)、及设于所述前固定挡板(113)中的套管(120)，所述弹性件(112)在所述套筒(118)内伸缩移动，所述第一轴承(115)在套管(120)内只在一个直线方向伸缩移动；

所述套筒(118)和套管(120)的形状均为直线型。

6.如权利要求1所述的基板导向机构，其特征在于，所述弹性件(112)为弹簧。

7.如权利要求3所述的基板导向机构，其特征在于，所述第一底板(116)设有多个连接孔(119)，所述调节边导轮(11)通过所述第一底板(116)进行安装固定。

8.如权利要求1所述的基板导向机构，其特征在于，所述固定边导轮(12)还包括第二轴承(125)、及第二底板(126)；所述第二轴承(125)为直型轴承；

其中所述第二滚轮(121)套设于所述第二轴承(125)上，并通过所述第二轴承(125)垂直连接于所述第二底板(126)上。

9.一种基板传送装置，其特征在于，包括用于承载基板(90)的承载平台、为传送基板(90)提供动力的传动机构、及如权利要求1-8中任一项所述的基板导向机构。

10.一种湿式设备，其特征在于，包括如权利要求9所述的基板传送装置。