[发明专利]一种单晶硅片的制绒方法在审
| 申请号： | 201810056843.1 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108251894A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡国华 | 申请（专利权）人： | 温岭汉德高分子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 317523 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅片 制绒 制绒添加剂 二乙烯三胺五甲叉膦酸 乙烯基吡咯烷酮 硫酸软骨素 乙烯基吡啶 苯甲酸钠 共聚物 甲氧基 制绒液 丁醇 混匀 绒面 配制 单晶硅片表面 金字塔结构 双峰分布 反射率 碱溶液 硅片 水中 脱泡 置入 制备 金字塔 溶解 | ||
1.一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于包括以下步骤：
1)制绒添加剂的配制：依次将硫酸软骨素-聚(乙烯基吡咯烷酮-乙烯基吡啶)共聚物、二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇和苯甲酸钠溶解到水中，混合均匀；所述单晶硅制绒添加剂包括以下质量百分含量的组分：硫酸软骨素-聚(乙烯基吡咯烷酮-乙烯基吡啶)共聚物1-6％，二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠0.1-1％，3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇3-10％，苯甲酸钠0.1-1％和余量的去离子水；
2)制绒液的配制：将步骤1)制得的制绒添加剂加到碱溶液中，混合均匀；所述制绒添加剂与碱溶液的质量比为1-3∶100；
3)将单晶硅片置入步骤2)制得的制绒液中进行制绒；制绒温度为80-88℃，制绒时间为420-900s。
2.如权利要求1所述的一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述碱溶液为质量分数为1-3％的氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液。
3.如权利要求1所述的一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述硫酸软骨素-聚(乙烯基吡咯烷酮-乙烯基吡啶)共聚物的制备方法包括以下步骤：将硫酸软骨素溶解到去离子水中，在惰性气体保护下，依次加入硝酸铈铵、乙烯基吡咯烷酮和乙烯基吡啶；升温进行反应，将反应体系沉淀到有机溶剂中，过滤收集沉淀出的产物，并用有机溶剂冲洗，烘干得到共聚物。
4.如权利要求3所述的一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述硫酸软骨素的分子量为30000-50000。
5.如权利要求3或4所述的一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述去离子水的质量与硫酸软骨素的质量比为10∶1-100∶1；所述硝酸铈铵的质量为硫酸软骨素质量的30-80％，乙烯基吡咯烷酮的质量为硫酸软骨素质量的300-600％，乙烯基吡啶的质量为硫酸软骨素质量的50-100％。
6.如权利要求3所述的一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述惰性气体为氮气、氦气或氩气的一种；反应温度为40-80℃，反应时间为6-24h。
7.如权利要求3所述的一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于：所述有机溶剂为甲醇、乙醇或丙酮的一种；在沉淀时，所述有机溶剂的质量与反应体系的质量比为1∶1-5∶1。
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