[发明专利]多晶硅废渣环保无公害处理系统以及处理方法

权利要求书

1.一种多晶硅废渣环保无公害处理系统，其特征在于：所述的系统包括反应器（1），反应器（1）上连接废渣转运罐（2）和加料罐（3），在废渣转运罐（2）和加料罐（3）内均设置有搅拌装置和振荡器，在反应器（1）内设置有搅拌器（4），反应器（1）的顶部连接有氯化氢过滤器（5），所述氯化氢过滤器（5）通过管路与混合器（6）相连，混合器（6）则通过吸收液循环管路（7）与吸收液罐（8）连通，并且在吸收液循环管路（7）上还设置有泵（9），在吸收液罐（8）的顶部连接有氯化氢回收管路（10），所述氯化氢回收管路（10）上设置有气泵，在吸收液循环管路（7）上还设置有吸收液回收管路（11），与吸收液罐（8）的中部还连通有吸收液补充管路（12），所述的反应器（1）设置有夹套，在反应器（1）的顶部设置有与夹套相连通的冷却水管路（13），在反应器（1）的底部设置有与夹套相连通的冷却水回水管路（14），在反应器（1）还连接有渣收集罐（15），所述的渣收集罐（15）的底部设置有滚轮，与所述的废渣转运罐（2）相配有移动平台（16），在上述的吸收液循环管路（7）、氯化氢回收管路（10）、吸收液回收管路（11）、吸收液补充管路（12）、夹套冷却水管路（13）和冷却水回水管路（14）上均设置有电磁阀（17），在反应器（1）的内壁上还设置有温度压力传感器，所述的所有电磁阀（17）和温度压力传感器均通过控制系统统一进行控制。

2.一种利用如权利要求1所述的多晶硅废渣环保无公害处理系统进行多晶硅废渣处理的方法，其特征在于：

首先将废渣转运罐（2）放置在移动平台（16）上，将其运送到多晶硅生产装置的出废渣口并与其对接，将废渣转移到废渣转运罐（2）中，然后利用移动平台（16）将废渣转运罐（2）运送至反应器（1）处并与其对接，将废渣引入反应器；在转运的过程中，废渣转运罐（2）中的搅拌装置工作，卸料时振荡器工作，防止废渣发生架桥，

预先在加料罐（3）中已经添加引发剂、抑制剂和阻聚剂，这些助剂在加料罐（3）中的搅拌装置和振荡器的作用下混合均匀，形成混合助剂；混合助剂输入到反应器（1）中，在搅拌器（4）的作用下与废渣充分混合，完成废渣内氯硅烷的分解转化反应；在反应的过程中，反应器（1）的内壁上的温度压力传感器会随时检测反应器（1）内的温度压力，如果温度压力过高，则控制系统或工作人员利用冷却水管路（13）向反应器（1）的夹套中充入冷却水，让其内部降温降压，而吸收了热量的冷却水则通过冷却水回水管路（14）排入冷却水塔冷却后循环使用；

产生的氯化氢气体会进入氯化氢过滤器（5）中进行过滤，氯化氢过滤器（5）仅可让氯化氢通过，氯化氢气体进入到混合器（6）中，在泵（9）的作用下，吸收液不断地喷撒到混合器（6）中，充分溶解了氯化氢的吸收液会进入到吸收液罐（8）中，在吸收液罐（8）中，当满足操作条件时吸收液饱和时氯化氢气体会从吸收液中析出，即在吸收液罐（8）中发生气液分离，分离出的氯化氢气体会通过氯化氢回收管路（10）上的气泵排出本系统提供给用户；运行一段时间后，吸收液无法继续吸收产生的氯化氢，则通过吸收液回收管路（11）将吸收液排入生产装置继续使用，并通过吸收液补充管路（12）向吸收液循环管路（7）中补入新的吸收液；

反应一段时间后，废渣中完全去除了氯硅烷后，将废渣输送到渣收集罐（15）中，并外运后进行综合再利用。

3.根据权利要求2所述的多晶硅废渣处理的方法，其特征在于：所述的引发剂为带有羟基、醚、羰基官能团的引发剂。

4.根据权利要求3所述的多晶硅废渣处理的方法，其特征在于：所述的引发剂为乙醇、丙铜、甲羟乙基酮或水。

5.根据权利要求2所述的多晶硅废渣处理的方法，其特征在于：所述的抑制剂为低分子胺类的抑制剂。

6.根据权利要求5所述的多晶硅废渣处理的方法，其特征在于：所述的抑制剂为二乙醇胺或三乙醇胺。

7.根据权利要求2所述的多晶硅废渣处理的方法，其特征在于：所述的阻聚剂为表面活性剂类的阻聚剂。