[发明专利]自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置

权利要求书

1.一种自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置，其特征在于，包括：

光源系统，用于提供连续光及激光；

单色系统，用于将所述光源系统提供的连续光变为单色光出射到所述测试系统的入口处；

测试系统，所述测试系统包括第三球面镜、待测中阶梯光栅、待测平面镜及第四平面镜，从所述入口处进来的光依次经过所述第三球面镜反射至所述待测中阶梯光栅或待测平面镜，反射回所述第三球面镜，再反射至第四平面镜，最后进入所述接收系统，所述测试系统为自准直式结构，用于在准李特罗条件下测试待测中阶梯光栅的衍射效率；

接收系统，所述接收系统包括狭缝和光电倍增管，所述狭缝的作用是遮挡待测中阶梯光栅非测试级次的衍射光，光电倍增管用于接收中阶梯光栅测试级次的衍射光强。

2.如权利要求1所述的自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述光源系统包括：

氘灯、钨灯及激光器，所述氘灯用于190-400nm连续光的提供，所述钨灯用于400-1100nm连续光的提供，所述激光用于待测中阶梯光栅和待测平面镜的状态的调整；

聚光系统，所述聚光系统用于将连续光收集并聚焦在所述单色系统的入口上；

平移台，所述平移台可通过移动进行氘灯、钨灯及激光之间的切换。

3.如权利要求2所述的自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述的单色系统包括第一球面镜、第二球面镜、平面光栅，所述单色系统用于将所述光源系统提供的连续光依次通过所述第一球面镜、平面光栅及第二球面镜之后，形成单色光出射到所述测试系统的入口处。

4.如权利要求3所述的自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述待测中阶梯光栅需要进行状态调整：首先将光源设置为所述激光器，设置所述单色系统出射光波长为激光器波长，使激光入射到所述测试系统中，调整所述待测中阶梯光栅的状态使激光原路返回至所述激光器处，则该状态下的所述待测阶梯光栅为李特罗角入射，以该状态为初始角度，转动所述待测阶梯光栅，使光经过所述第四球面镜反射到所述接收系统处，由所述光电倍增管接收，即完成所述待测中阶梯光栅状态调整。

5.如权利要求1所述的自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置，其特征在于，还包括待测平面镜，所述待测平面镜需要进行状态调整：首先将光源设置为所述激光器，设置所述单色系统出射光波长为激光器波长，使激光入射到所述测试系统中，调整所述待测平面镜的状态使激光原路返回至所述激光器处，以该状态为初始角度，转动所述待测平面镜，使光经过所述第四平面镜反射到所述接收系统处，由所述光电倍增管接收，即完成所述平面镜状态调整。