[发明专利]基板及其制作方法、电子设备

说明书

本申请公开了一种基板及其制作方法、电子设备，属于显示器领域。所述方法包括：在衬底基板上制作一层绝缘膜层；在所述绝缘膜层上形成沟道，得到绝缘层；在所述沟道的一侧壁上形成走线，所述走线在平行于所述衬底基板的平面内的宽度为100～800nm，通过本申请提供的方案制成的走线的宽度非常小，使得整个走线区域的整体宽度能够大大降低，从而可以实现窄边框设计。

技术领域

本申请涉及显示器领域，特别涉及一种基板及其制作方法、电子设备。

背景技术

随着显示技术的发展，触摸屏和显示屏在人们的生产和生活中得到了广泛的应用。

触摸屏包括触控区域和设置在所述触控区域外围的走线区域，所述触控区域用于布置触控电极，所述走线区域用于布置与所述触控电极电连接的走线。显示屏包括显示区域和设置在所述显示区域外围的走线区域，所述显示区域用于布置像素结构，所述走线区域用于布置与所述像素结构内的电极或电极线电连接的走线。无论是触摸屏还是显示屏，走线区域通常被封装成触摸屏或显示屏的边框部分。

目前，走线宽度通常至少为10000nm且数量较多，大量的走线使得触摸屏或显示屏边框的宽度较大。

发明内容

本申请提供了一种基板及其制作方法、电子设备，可以解决现有技术中走线宽度大，导致触摸屏或显示屏边框宽度大的问题。所述技术方案如下：

第一方面，本发明实施例提供了一种基板制作方法，所述方法包括：

在衬底基板上制作一层绝缘膜层；

在所述绝缘膜层上形成沟道，得到绝缘层；

在所述沟道的一侧壁上形成走线，所述走线在平行于所述衬底基板的平面内的宽度为100～800nm。

在本发明实施例的一种实现方式中，所述绝缘膜层采用亚克力材料或者保护胶制成。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述在所述绝缘膜层上形成沟道，包括：

对所述绝缘膜层进行曝光和显影处理，以在所述绝缘膜层上形成沟道。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述沟道在垂直于所述衬底基板的方向上的深度为4～15μm，所述沟道在平行于所述衬底基板的平面内的宽度为1～6μm。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述方法还包括：

在形成所述沟道后，将所述衬底基板放置在溅射腔室内，所述衬底基板相对于水平面倾斜；

所述在所述沟道的一侧壁上形成走线，包括：

采用溅射工艺在所述沟道的侧壁上形成所述走线。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述衬底基板的倾斜角度为30～60度。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述方法还包括：

采用绝缘材料将所述沟道填平；

除去溅射到位于所述绝缘层的远离所述衬底基板的表面上的金属。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述除去溅射到位于所述绝缘层的远离所述衬底基板的表面上的金属，包括：

采用弱酸刻蚀液对填平所述沟道后的绝缘层进行刻蚀，去除所述绝缘层的远离所述衬底基板的表面上的金属。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述方法还包括：

在填平所述沟道后，在所述绝缘层上开设凹槽，所述凹槽紧邻所述走线；

在所述凹槽内制作导电连接件，所述导电连接件用于连接电极。