[其他]混合气体供给装置

权利要求书

1.一种混合气体供给装置，具有：

氢气产生部，其具有分解水而产生氢气的氢产生器；

氮气产生部，其具有从空气分离氮气的滤膜；

气体混合部，其将从所述氢气产生部导入的氢气和从所述氮气产生部导入的氮气混合；

所述氢气产生部、所述氮气产生部以及所述气体混合部搭载在一个基台上而一体化，

所述气体混合部将在所述气体混合部混合的氢氮混合气体向外部供给。

2.根据权利要求1所述的混合气体供给装置，

还具有在所述基台上设置的单个壳体，

所述氢气产生部、所述氮气产生部以及所述气体混合部收纳在所述壳体内。

3.根据权利要求1所述的混合气体供给装置，

还具有设置于所述基台的脚轮。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的混合气体供给装置，

所述气体混合部具有串联连接的两个混合罐。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的混合气体供给装置，

还具有对从所述氢气产生部经由氢气供给流路导入到所述气体混合部的氢气的流量与从所述氮气产生部经由氮气供给流路导入到所述气体混合部的氮气的流量的比进行控制的气体流量比控制部。

6.根据权利要求5所述的混合气体供给装置，

所述气体流量比控制部具有：

第一质量流量控制器，其设置于所述氢气供给流路；

第二质量流量控制器，其设置于所述氮气供给流路。

7.根据权利要求5所述的混合气体供给装置，

还具有直动式调节器和从所述直动式调节器施加有先导压力的先导式调节器，

所述气体流量比控制部具有在所述氢气供给流路设置的第一音速喷嘴和在所述氮气供给流路设置的第二音速喷嘴，

所述直动式调节器设置在所述氢气供给流路上的比所述第一音速喷嘴位于上游侧的位置和所述氮气供给流路上的比所述第二音速喷嘴位于上游侧的位置中的一方，

所述外部先导式调节器设置在所述氢气供给流路上的所述位置和所述氮气供给流路的所述位置中的另一方。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的混合气体供给装置，

所述混合气体的用途是泄漏检查。

9.一种混合气体供给装置，具有：

壳体；

水槽，其配置在所述壳体内；

氢气产生器，其与所述水槽连接，将在所述水槽中存留的水分解而产生氢气；

空气取入口，其设置于所述壳体，并且将空气取入所述壳体；

滤膜，其设置在所述壳体内，并且从由所述空气取入口取入的空气中分离氮气；

混合部，其设置在所述壳体内，并且将所述氢气产生器所产生的氢气与通过所述滤膜分离的氮气混合而生成氢氮混合气体；

混合气体供给口，其设置于所述壳体，将所述氢氮混合气体从所述混合部向所述壳体的外部供给。

10.根据权利要求9所述的混合气体供给装置，

还具备用于移动所述壳体的脚轮。

11.根据权利要求9或10所述的混合气体供给装置，

所述混合部包含：

导入有所述氢气和所述氮气而生成所述氢氮混合气体的第一混合罐；

与所述第一混合罐连接的第二混合罐。

12.根据权利要求9或10所述的混合气体供给装置，

还具备检测所述水槽内的水量的水位计。

13.根据权利要求12所述的混合气体供给装置，

在通过所述水位计检测到所述水槽内的水为规定水位以下时发出警报。