[发明专利]蒸镀源及蒸镀装置、以及蒸镀膜制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀源，其特征在于，具备收容蒸镀粒子的收容部以及射出所述蒸镀粒子的多个喷嘴，

所述多个喷嘴沿第一方向排列为线状地设于所述收容部的一个表面上，且所述多个喷嘴中的包含设于所述收容部的第一方向端部的喷嘴的至少一部分的多个喷嘴朝着所述收容部的第一方向端部向倾斜方向突出，

设于所述收容部的第一方向端部的喷嘴的配设密度比设于所述收容部的中央部的喷嘴的配设密度高，

在所述收容部的第一方向端部中，邻接的所述喷嘴的上端面彼此连结的第一线为直线状。

2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，

在所述收容部的第一方向端部中，邻接的所述喷嘴的下端面彼此连结的第二线为直线状，且所述第一线与所述第二线相互平行。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀源，其特征在于，

所述收容部的第一方向两端部是以分别朝向外侧的方式倾斜的倾斜面，在所述倾斜面上，以比在所述收容部的中央部中的所述喷嘴的配设密度高的配设密度设置所述喷嘴。

4.根据权利要求3所述的蒸镀源，其特征在于，

所述多个喷嘴的倾斜角中，所述倾斜面上的喷嘴的倾斜角比其他喷嘴的倾斜角大。

5.根据权利要求3或4所述的蒸镀源，其特征在于，

所述倾斜面上的所述喷嘴的倾斜角全部相同。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的蒸镀源，其特征在于，

所述倾斜面与所述第一线平行。

7.根据权利要求1或2所述的蒸镀源，其特征在于，

所述收容部的所述一个表面平坦，所述多个喷嘴全部设于所述收容部的平坦的所述一个表面上，且设于所述收容部的第一方向端部的所述喷嘴的上端面为水平。

8.根据权利要求7所述的蒸镀源，其特征在于，

在所述收容部的第一方向端部中邻接的、且所述第一线成为直线状的所述喷嘴的倾斜角全部相同。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的蒸镀源，其特征在于，

所述多个喷嘴以所述收容部的第一方向中央位置为中心而轴对称地设于所述第一方向上。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，具备如权利要求1至9中任一项所述的蒸镀源，

在将所述蒸镀源与被成膜基板对置配置的状态下，一面使所述蒸镀源及所述被成膜基板的至少一方，沿着与所述第一方向正交的第二方向相对于另一方而相对移动，一面进行蒸镀。

11.一种蒸镀膜制造方法，其是在被成膜基板上制造蒸镀膜的蒸镀膜制造方法，其特征在于，

在将根据权利要求1至9中任一项所述的蒸镀源与被成膜基板对置配置的状态下，一面使所述蒸镀源及所述被成膜基板的至少一方，沿着与所述第一方向正交的第二方向相对于另一方而相对移动，一面进行蒸镀。