[发明专利]基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法

权利要求书

1.一种基板搬运装置，向能够保持基板的保持装置的保持面搬运所述基板，且包括：

第一保持部，在所述保持装置的上方的第一位置保持所述基板的一部分；

第二保持部，在上下方向上比所述保持面高且比所述第一位置低的第二位置，保持经所述第一保持部保持的所述基板的其他部分；以及

驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部保持所述基板的所述其他部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部相对移动。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其中所述驱动部在上下方向上，使所述第一保持部在所述第二保持部及所述保持装置的上方移动。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述驱动部使所述第一保持部向自所述第二保持部离开的方向移动。

4.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述保持装置自所述基板的所述其他部分侧向所述一部分侧依序保持所述基板。

5.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部在保持所述基板的所述其他部分的状态下，调整所述基板相对于所述保持装置的位置。

6.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部设于所述保持面。

7.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部设于所述保持面的上方。

8.根据权利要求7所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部以沿着所述基板的背面的方式能够移动地设置，保持为所述背面的一部分区域的所述基板的所述其他部分。

9.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部以所述基板的所述其他部分与所述保持面的距离短于所述基板的所述一部分与所述保持面的距离的状态下来保持所述基板。

10.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部相对于所述保持面而倾斜设置。

11.根据权利要求10所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部保持所述基板的所述一部分且相对于所述保持面而倾斜设置；所述第二保持部保持所述基板的所述其他部分且与所述保持面平行地设置。

12.根据权利要求11所述的基板搬运装置，具有驱动部，以相对于所述保持面倾斜的方式驱动所述第一保持部。

13.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述驱动部使所述第一保持部沿着所述保持面移动。

14.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，包括将与所述基板不同的其他基板自所述保持装置搬出的搬出装置，

所述搬出装置在所述驱动部进行的所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部的相对移动中，搬出所述其他基板。

15.根据权利要求14所述的基板搬运装置，其中所述搬出装置使所述其他基板在上下方向上所述第一保持部与所述保持装置之间的位置移动。

16.根据权利要求14所述的基板搬运装置，其中所述搬出装置设于所述第一保持部，

所述驱动部使所述第一保持部相对于所述第二保持部及所述保持装置相对移动，并且使所述搬出装置移动。

17.根据权利要求14所述的基板搬运装置，其中所述保持装置具有吸气孔，所述吸气孔供给使所述其他基板上浮的气体，

所述搬出装置使在所述保持装置上经上浮的所述其他基板沿着所述保持装置的所述保持面移动。