[发明专利]元件安装机有效

专利信息
申请号: 201780087660.X 申请日: 2017-03-09
公开(公告)号: CN110366772B 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 中山幸则;藤井真一 申请(专利权)人: 株式会社富士
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/52
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 杨青;安翔
地址: 日本爱知*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 元件 装机
【说明书】:

本发明提供一种元件安装机,具备进行与晶圆供给装置以及元件移载装置相关的控制的控制装置,控制装置具备:裸片信息存储部,将收纳在晶圆供给装置中的裸片各自的位置与对各裸片分配的等级建立关联并存储;区块信息取得部,取得向设于基板的区块安装的裸片的条件;等级指定部,基于存储于区块信息取得部中的内容,对元件移载装置指定所拾取的裸片的等级;以及位置指定部,基于等级指定部的指定以及存储于裸片信息存储部中的内容,对元件移载装置进行所拾取的裸片的位置指定,位置指定部以涉及收纳在晶圆供给装置中的多个晶圆地连续拾取具有由等级指定部指定的等级的裸片的方式进行裸片的位置指定。

技术领域

本发明涉及一种元件安装机。

背景技术

已知有如下元件安装机:将通过切割处理而分割为多个裸片(元件)的晶圆向供给位置供给,拾取裸片并将其向基板安装。在专利文献1中公开有如下技术:基于切片(裸片)所具有的电特性,将各个切片分类(等级划分)为多个类别,并基于该类别分类,决定拾取切片的顺序。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开平3-161942号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述专利文献1所记载的技术中,在需要对一片基板安装电特性或者类别分类连续的多个切片的情况下,若在被供给至供给位置的晶圆中未残留所需数量的切片,则无法进行属于该电特性或者类别分类的切片的拾取。由此,在从供给位置返回的晶圆中,残留有未使用的切片。由于每当更换向供给位置供给的晶圆时都会产生这样的未使用的切片,因此晶圆的使用数越多,则未使用的切片也越多。其结果是,元件(切片)的供给效率不高。

另外,通常,裸片粘贴于设在下方的切割片,在拾取裸片时,每一片切割片被从下方顶起。因此,在切割片的被顶起的部位产生有拉伸。由此,当在要拾取的裸片间存在有多个完成拾取的裸片时,该裸片间的距离因切割片的拉伸而变大。在该情况下,要拾取的裸片间的距离越大,则在要拾取的裸片间就存在有越多的完成拾取的裸片,因切割片所造成的该裸片间的距离就越大。

关于这一点,在上述专利文献1中,切片(裸片)的选择顺序被记载为从静电容量范围较小的类别至静电容量范围较大的类别。由此,在属于之前选择的类别的切片的数量比属于之后选择的类别的切片的数量多的情况下,当拾取属于静电容量范围较大的类别的切片时,在要拾取的切片间存在有多个完成拾取的切片。其结果是,易于产生有拾取错误。

本说明书的目的在于提供能够高效地进行元件的供给的元件安装机以及能够抑制元件的拾取错误的产生的元件安装机。

用于解决课题的技术方案

本说明书公开第一元件安装机,所述第一元件安装机具备:晶圆供给装置,具有能够收纳多个晶圆的盒,且将收纳在所述盒中的所述晶圆向供给位置供给,其中所述晶圆被分割为多个裸片;元件移载装置,拾取被供给至所述供给位置的所述裸片并向搬运来的基板安装;以及控制装置,进行与所述晶圆供给装置以及所述元件移载装置相关的控制。

在第一元件安装机中,所述控制装置具备:裸片信息存储部,将收纳在所述晶圆供给装置中的所述裸片各自的位置与对各所述裸片分配的等级建立关联并存储;区块信息取得部,取得向设于所述基板的区块安装的所述裸片的条件;等级指定部,基于所述区块信息取得部所取得的内容,对所述元件移载装置指定所拾取的所述裸片的等级;以及位置指定部,基于所述等级指定部的指定以及存储于所述裸片信息存储部的内容,对所述元件移载装置进行所拾取的所述裸片的位置指定。所述位置指定部以涉及收纳在所述晶圆供给装置中的多个所述晶圆地连续拾取具有由所述等级指定部指定的等级的所述裸片的方式进行所述裸片的位置指定。

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