[发明专利]包括两个窗口、光学元件和XY-偏转装置的偏转单元

权利要求书

1.偏转单元（10、110、210），包括：

- 第一窗口（12），光学操作光束（14）能够通过所述第一窗口（12）进入所述偏转单元，

- 第二窗口（24），所述操作光束能够通过所述第二窗口（24）从所述偏转单元离开，并且检测光束（32）能够沿着新出现的操作光束（14）的相应轨迹并在与所述操作光束（14）相反的方向从操作区域（34）通过所述第二窗口（24）进入所述偏转单元，

- 光学元件（20），至少部分地反射第一波长，

其中，所述偏转单元：

- 限定所述操作光束（14）经由所述光学元件（20）处的反射从所述第一窗口（12）到所述第二窗口（24）所经过的操作光束路径，以及

其中，所述偏转单元还包括：

-XY偏转装置（22），布置在所述第二窗口（24）和所述光学元件（20）之间的操作光束路径中，以偏转所述操作光束（14），并扫描已经出现的操作光束，以及

- 聚焦装置（16），用于聚焦所述操作光束（14），其中，所述聚焦装置具有可变焦距，并且布置在所述第一窗口（12）和所述光学元件（20）之间的操作光束路径中，其中，所述聚焦装置（16）包括第一可移动透镜（56）、第二可移动透镜（54）和固定透镜（52），其中，所述第二可移动透镜（54）在所述操作光束的光束方向上布置在所述第一可移动透镜（56）之后，以及其中，所述固定透镜（52）在所述操作光束的光束方向上布置在所述第一可移动透镜（56）和所述第二可移动透镜（54）之后。

2.根据权利要求1所述的偏转单元（10、110、210），其中，所述聚焦装置（16）配置为根据所述XY偏转装置（22）的设置和/或工作距离来改变所述焦距，其中，所述工作距离对应于所述第二窗口（24）与所述第二窗口（24）下方的工作表面（18）之间的距离，在所述工作距离，所述偏转单元（10、110、210）能够处理和观察所述工作表面（18）上的平坦工作区域。

3.根据权利要求1所述的偏转单元（10、110、210），其中，所述聚焦装置（16）配置为沿着所述操作光束路径共同移动所述第一可移动透镜（56）和所述第二可移动透镜（54）。

4.根据权利要求1所述的偏转单元（10、110、210），其中，所述聚焦装置（16）配置为改变所述操作光束（14）的聚焦直径，而不同时改变焦点位置。

5.根据权利要求4所述的偏转单元（10、110、210），其中，所述聚焦装置包括多个可移动透镜（54、56），并且配置为同时彼此独立地移动至少两个可移动透镜（54、56）。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的偏转单元（10、110、210），其中，所述第一可移动透镜（56）的物侧主平面与所述第一窗口之间的距离与所述第一可移动透镜（56）的焦距相差不超过50％。

7.根据权利要求3至5中任一项所述的偏转单元（10、110、210），其中，所述第一可移动透镜（56）的物侧主平面与所述第一窗口之间的距离与所述第一可移动透镜（56）的焦距相差不超过30％。

8.根据权利要求3至5中任一项所述的偏转单元（10、110、210），其中，所述第一可移动透镜（56）的物侧主平面与所述第一窗口之间的距离与所述第一可移动透镜（56）的焦距相差不超过10％。

9.根据权利要求3至5中任一项所述的偏转单元（10、110、210），其中，选择所述第一可移动透镜（56）和所述第二可移动透镜（54）之间的距离，使得由所述第一可移动透镜（56）和所述第二可移动透镜（54）产生的虚像的轴向位置能够在对应于所述第二可移动透镜（54）的调节范围的范围内变化，其中，所述第二可移动透镜（54）能够在所述调节范围内沿着所述操作光束路径移动。