[发明专利]静电电容式传感器以及设备

说明书

本发明作为在确保桥接布线部的不可见性的同时导通稳定性优异的静电电容式传感器而提供如下的静电电容式传感器，其特征在于，具备：多个第一透明电极，配置在第一方向上，具有透光性；多个第二透明电极，配置在与第一方向交叉的第二方向上，具有透光性，包含导电性纳米线；连结部，与第一透明电极设置为一体；以及桥接布线部，与第二透明电极分体地设置在与连结部交叉的部分，将彼此相邻的两个第二透明电极相互电连接，桥接布线部由与第二透明电极相接的接触部分和与接触部分相连设置并从第二透明电极分离的桥接部分构成，接触部分具有层叠构造，具有与第二透明电极相接的部分的层由锌氧化物类材料构成，桥接部分中的相对于基材位于远处侧的面由非晶氧化物类材料构成。

技术领域

本发明涉及静电电容式传感器，特别涉及设置有包含导电性纳米线的透明电极的静电电容式传感器以及具备该静电电容式传感器的设备。

背景技术

在专利文献1公开了在透明玻璃基板上形成有铟锡氧化物(ITO)层的X电极以及Y电极的指头触摸式检测面板。在专利文献1记载的指头触摸式检测面板设置有X电极以及Y电极彼此相交的部分。Y电极经由开孔部通过导电体膜电连接。像这样，通过在基板上使X电极以及Y电极彼此相交并设置电连接Y电极的桥接布线部，从而能够将检测面板薄型化。

在此，作为市场的动向，期望使静电电容式传感器的形状为曲面，或者使静电电容式传感器可折弯。为此，作为静电电容式传感器的透明电极的材料，有时使用例如金纳米线、银纳米线以及铜纳米线等包含导电性纳米线的材料。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭58-166437号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，若对透明电极的材料使用包含导电性纳米线的材料，则存在透明电极与设置在电极的交叉部分的桥接布线部的接触面积变得比较窄这样的问题。即，导电性纳米线通过露出在透明电极的表面的导电性导线确保了导电性以及透明性。因此，在桥接布线部的材料为包含导电性纳米线的材料的情况下，透明电极与桥接布线部的接触成为线材与线材的接触。或者，在桥接布线部的材料为例如ITO等氧化物类材料的情况下，透明电极与桥接布线部的接触成为线材与面的接触。由此，若对透明电极的材料使用包含导电性纳米线的材料，则透明电极与桥接布线部的接触面积变得比较窄。

于是，导通稳定性有可能下降。此外，在产生了静电放电(ESD；Electro StaticDischarge)的情况下，若大电流流到透明电极与桥接布线部的接触部分，则该接触部分有可能局部发热而熔断。也就是说，若对透明电极的材料使用包含导电性纳米线的材料，则静电电容式传感器的变形性能提高，另一方面，导通稳定性以及ESD耐性有可能下降。此外，若对桥接布线部的材料使用结晶性的氧化物类材料、金属类材料，则有可能折弯时的电阻上升或者桥接布线部断线。

对于这样的问题，可考虑通过增大桥接布线部的尺寸来加宽透明电极与桥接布线部的接触面积。但是，若增大桥接布线部的尺寸，则存在桥接布线部变得容易被视觉辨认这样的问题。

本发明用于解决上述以往的课题，其目的在于，提供一种在确保桥接布线部的不可见性的同时导通稳定性优异的静电电容式传感器、以及具备该静电电容式传感器的设备。

用于解决课题的技术方案