[发明专利]振动发电装置

权利要求书

1.一种振动发电装置，其特征在于，具备：

可动侧部，其构成为通过从外部施加的振动能而能够在预定的振动方向上振动，并具有沿上述振动方向的第一面；以及

固定侧部，其构成为具有以使上述可动侧部能够在上述振动方向上振动的方式与上述可动侧部的上述第一面隔着预定的间隔而对置的第二面，并相对于上述振动能也固定位置，

在上述可动侧部的上述第一面以及上述固定侧部的上述第二面各自的表面，在上述振动方向上交替地形成有多个凹部和凸部，并且，

在上述固定侧部和上述可动侧部至少一方形成有驻极体膜，

具有与上述可动侧部的上述第一面侧和上述固定侧部的第二面侧的间隔相应的值的力系数在上述可动侧部的振动振幅小时变小，在上述可动侧部的上述振动振幅大时变大，其中上述力系数是机电转换系数，

上述可动侧部的上述第一面的上述多个凹部和凸部以及上述固定侧部的上述第二面的上述多个凹部和凸部形成为，在上述可动侧部的上述振动振幅小时，成为上述可动侧部的上述第一面的上述凸部的沿上述振动方向延伸的端面与上述固定侧部的上述第二面的上述凸部的沿上述振动方向延伸的端面的间隔的最小值大的状态，而且，在上述可动侧部的上述振动振幅大时，成为上述可动侧部的上述第一面的上述凸部的沿上述振动方向延伸的端面与上述固定侧部的上述第二面的上述凸部的沿上述振动方向延伸的端面的间隔的最小值小的状态。

2.根据权利要求1所述的振动发电装置，其特征在于，

上述可动侧部的上述第一面的多个上述凸部和上述固定侧部的上述第二面的多个上述凸部形成为，上述振动方向的排列间距相同，并且在上述振动方向上排列的多个上述凸部的与上述振动方向正交的方向的高度重复沿振动方向逐渐变大之后逐渐变小的变化。

3.根据权利要求2所述的振动发电装置，其特征在于，

上述可动侧部的上述第一面的多个上述凸部和上述固定侧部的上述第二面的多个上述凸部形成为，与上述振动方向正交的方向的高度越低、则上述振动方向的宽度越窄。

4.根据权利要求1所述的振动发电装置，其特征在于，

上述可动侧部的上述第一面的多个上述凸部和上述固定侧部的上述第二面的多个上述凸部形成为，上述振动方向的存在密度在上述振动方向上已被改变。

5.根据权利要求1所述的振动发电装置，其特征在于，

就上述可动侧部的上述第一面以及上述固定侧部的上述第二面各自的表面的上述凸部而言，在上述振动方向上以梳齿状排列有在与上述振动方向正交的方向上突出的多个突部。

6.根据权利要求1所述的振动发电装置，其特征在于，

上述可动侧部的上述第一面以及上述固定侧部的上述第二面各自的表面的上述凸部由在上述振动方向上排列的多个楔形状构成。

7.根据权利要求1所述的振动发电装置，其特征在于，

上述可动侧部的上述第一面以及上述固定侧部的上述第二面各自的表面由上述凹部和上述凸部形成为波形形状。

8.一种振动发电装置，其特征在于，具备：

可动侧部，其构成为通过从外部施加的振动能而能够在预定的振动方向上振动，并具有沿上述振动方向的第一面；以及

固定侧部，其构成为具有以使上述可动侧部能够在上述振动方向上振动的方式与上述可动侧部的上述第一面隔着预定的间隔而对置的第二面，并相对于上述振动能也固定位置，

在上述固定侧部和上述可动侧部的至少一方形成有驻极体膜，

通过使形成于上述固定侧部和上述可动侧部的至少一方的上述驻极体膜的驻极体电位在上述振动方向上变化，从而使具有与上述驻极体膜的电位相应的值的力系数在上述可动侧部的振动振幅小时变小，在上述可动侧部的上述振动振幅大时变大，其中上述力系数是机电转换系数。

9.根据权利要求1或8所述的振动发电装置，其特征在于，

上述固定侧部和上述可动侧部是由半导体基板形成的MEMS装置。