[发明专利]MEMS致动系统和方法

说明书

微机电系统(MEMS)器件包括一个或多个可滑动连接组件，用于可释放地将微机电系统(MEMS)器件连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。

相关案件

本申请要求以下美国临时申请的权益：2016年9月12日提交的第62/393,436号、2016年9月12日提交的第62/393,419号、2016年11月8日提交的第62/419,117号、2016年11月9日提交的第62/419,814号以及2016年11月11日提交的第62/420,960号；它们的内容通过引用并入本申请。

技术领域

本公开通常涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。

背景技术

如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，对于微型致动器来说适配在小尺寸、低功率和成本有限的这些应用内可能是有益的。

微机电系统(MEMS)技术在其最一般的形式中可以定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米到几毫米变化。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。

发明内容

发明#7

在一个实施方式中，微机电系统(MEMS)器件包括一个或多个可滑动连接组件，用于可释放地将微机电系统(MEMS)器件连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。

以下特征可以包括其中一个或多个。所述一个或多个可滑动连接组件可包括晶片的一部分。晶片的所述部分可包括晶片上的支撑柱。微机电系统(MEMS)器件可包括MEMS致动芯和MEMS电连接器组件，所述MEMS电连接器组件电连接至MEMS致动芯且配置为电连接至印刷电路板。所述一个或多个可滑动连接组件可包括MEMS致动芯的一部分。所述一个或多个可滑动连接组件可包括MEMS电连接器的一部分。所述一个或多个可滑动连接组件可包括微机电系统(MEMS)器件上的一个或多个指状物组件。所述一个或多个可滑动连接组件可包括晶片上的一个或多个插口组件，配置为接收所述一个或多个指状物组件。晶片上的所述一个或多个插口组件可以包括一跨接结构，配置为跨接晶片的至少两个指状物，从而在其间形成所述一个或多个插口组件。所述一个或多个可滑动连接组件可包括晶片上的一个或多个指状物组件。所述一个或多个可滑动连接组件可包括微机电系统(MEMS)器件上的一个或多个插口组件，配置为接收所述一个或多个指状物组件。微机电系统(MEMS)器件上的所述一个或多个插口组件可以包括一跨接结构，配置为跨接微机电系统(MEMS)器件的至少两个指状物，从而在其间形成所述一个或多个插口组件。

在另一实施方式中，微机电系统(MEMS)器件包括MEMS致动芯，电连接至MEMS致动芯且配置为电连接至印刷电路板的MEMS电连接器组件，以及一个或多个可滑动连接组件，用于将微机电系统(MEMS)器件可释放地连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。

以下特征可以包括其中一个或多个。所述一个或多个可滑动连接组件可包括晶片的一部分。晶片的所述部分可包括晶片上的支撑柱。所述一个或多个可滑动连接组件可包括MEMS致动芯的一部分。所述一个或多个可滑动连接组件可包括MEMS电连接器的一部分。

在另一实施方式中，微机电系统(MEMS)器件包括MEMS致动芯，电连接至MEMS致动芯且配置为电连接至印刷电路板的MEMS电连接器组件，以及一个或多个可滑动连接组件，用于将微机电系统(MEMS)器件可释放地连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。