[发明专利]机械控制装置、记录介质及机械控制方法

权利要求书

1.一种机械控制装置，其搭载于对控制对象物进行处理的机械装置中而被使用，或者与所述机械装置连接而被使用，所述机械控制装置具有：

计测部，其计测与所述控制对象物的状态相关的特征值；

判定部，其将所述计测部计测出的所述特征值与作为临界条件的约束条件进行对比而求出约束判定值，所述作为临界条件的约束条件用于维持对所述控制对象物所允许的规定状态，所述约束判定值确定所述特征值与所述临界条件的接近度；

控制部，其根据由所述判定部求出的所述约束判定值，对于针对所述机械装置的动作控制的控制值，按照对所述约束判定值和所述动作控制的控制值所设定的关系式来决定，使得所述控制对象物的状态不偏离所述规定状态，从而维持针对所述控制对象物所允许的所述规定状态；以及

学习部，其在所述约束判定值通过所述控制部所进行的所述动作控制而产生变动的情况下，对所述约束判定值与所述动作控制的所述控制值的关系式进行重新设定，以缓和所述接近度的增大。

2.根据权利要求1所述的机械控制装置，其中，

所述计测部得到多种计测结果，

所述判定部针对多种所述计测结果的每一个，求出一个或多个所述约束判定值。

3.根据权利要求1或2所述的机械控制装置，其中，

所述计测部具有：

图像拍摄部，其取得关于所述控制对象物的拍摄图像；以及

图像解析部，其对由所述图像拍摄部取得的拍摄图像进行解析而进行与所述控制对象物的状态相关的计测。

4.根据权利要求1或2所述的机械控制装置，其中，

所述计测部计测所述控制对象物的形状的特征值。

5.根据权利要求1或2所述的机械控制装置，其中，

通过能够重新设定的控制模型公式来规定所述约束判定值与所述动作控制之间的关系。

6.根据权利要求1或2所述的机械控制装置，其中，

所述计测部、所述判定部、所述控制部以及所述学习部循环地进行处理，并且在规定的时间内完成一个循环处理。

7.根据权利要求1或2所述的机械控制装置，其中，

所述机械装置为单晶制造装置，

所述控制对象物为在通过所述单晶制造装置制造单晶时，在原料与晶种之间形成的熔化区域。

8.一种计算机可读取的记录介质，其存储有机械控制程序，该机械控制程序使搭载于对控制对象物进行处理的机械装置中的计算机、或者与所述机械装置连接而被使用的计算机执行如下的步骤：

计测步骤，计测与所述控制对象物的状态相关的特征值；

判定步骤，将所述计测步骤中计测出的所述特征值与作为临界条件的约束条件进行对比而求出约束判定值，所述作为临界条件的约束条件用于维持对所述控制对象物所允许的规定状态，所述约束判定值确定所述特征值与所述临界条件的接近度；

控制步骤，根据在所述判定步骤中求出的所述约束判定值，对于针对所述机械装置的动作控制的控制值，按照对所述约束判定值和所述动作控制的控制值所设定的关系式来决定，使得所述控制对象物的状态不偏离所述规定状态，从而维持针对所述控制对象物所允许的所述规定状态；以及

学习步骤，在所述约束判定值通过在所述控制步骤中进行的所述动作控制而产生变动的情况下，对所述约束判定值与所述动作控制的所述控制值的关系式进行重新设定，以缓和所述接近度的增大。

9.一种机械控制方法，控制对控制对象物进行处理的机械装置的动作，所述机械控制方法包括如下步骤：

计测步骤，计测与所述控制对象物的状态相关的特征值；

判定步骤，将所述计测步骤中计测出的所述特征值与作为临界条件的约束条件进行对比而求出约束判定值，所述作为临界条件的约束条件用于维持对所述控制对象物所允许的规定状态，所述约束判定值确定所述特征值与所述临界条件的接近度；

控制步骤，根据在所述判定步骤中求出的所述约束判定值，对于针对所述机械装置的动作控制的控制值，按照对所述约束判定值和所述动作控制的控制值所设定的关系式来决定，使得所述控制对象物的状态不偏离所述规定状态，从而维持针对所述控制对象物所允许的所述规定状态；以及

学习步骤，在所述约束判定值通过在所述控制步骤中进行的所述动作控制而产生变动的情况下，对所述约束判定值与所述动作控制的所述控制值的关系式进行重新设定，以缓和所述接近度的增大。